本文關(guān)鍵詞：四極質(zhì)量分析器的幾何量檢測研究　出處：《制造技術(shù)與機床》2015年02期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：四極質(zhì)量分析器是四極質(zhì)譜儀的核心部件之一,其極桿加工及組件裝配精度要求很高。介紹了四極質(zhì)量分析器研制中其部件極桿、陶瓷座的幾何量檢測內(nèi)容及自研裝置,四極質(zhì)量分析器裝配組件的裝配精度檢測方法。批量生產(chǎn)的四極質(zhì)量分析器的檢測結(jié)果表明裝配的綜合精度可以穩(wěn)定達到3μm以內(nèi),幾何量的檢測滿足實際要求,質(zhì)譜測試的分辨率達到1 500以上,性能達進口四極質(zhì)量分析器水平。
[Abstract]:The four - pole mass analyzer is one of the core parts of the quadrupole mass spectrometer , and its pole - pole machining and assembly accuracy requirements are very high . The results of the four - pole mass analyzer are introduced in this paper . The results of the four - pole mass analyzer show that the integrated precision can be stabilized to within 3 渭m , and the resolution of the mass spectrometer can reach more than 1,500 , and the performance can reach the level of the imported quadrupole mass analyzer .

【作者單位】： 中國工程物理研究院機械制造工藝研究所;
【基金】：國家重大科學儀器設(shè)備開發(fā)專項資金資助(2011YQ130043)
【分類號】：TH843
【正文快照】： 四極桿質(zhì)譜計是目前最成熟、應用最廣泛的小型質(zhì)譜計之一,四極質(zhì)量分析器是其核心部件。在高質(zhì)量數(shù)處達到高分辨率是四極質(zhì)量分析器制造技術(shù)水平的重要標志,我國早在上世紀60年代就已開始研制四極質(zhì)譜計,70年代推出商品化儀器,但直到現(xiàn)在,國產(chǎn)儀器一直停留在低分辨率應用上,最

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本文編號：1358252