本文關(guān)鍵詞：絕對式光柵尺細分誤差補償方法　出處：《光學(xué)學(xué)報》2015年01期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：為了提高絕對式光柵尺的細分精度,提出了一種細分誤差補償方法。對絕對式光柵尺A、B兩路疊柵條紋信號進行傅里葉分析,建立疊柵條紋信號模型;對信號模型中的相位、振幅、諧波、直流分量進行校正,得到理想疊柵條紋信號的模型;對比實際信號模型和理想信號模型的細分位置,得到絕對式光柵尺的細分誤差;根據(jù)該誤差對細分值進行補償,提高細分精度。通過使用JC09型絕對式光柵尺對該方法進行驗證,可使其細分相對誤差從2.70%降低到1.05%。實驗結(jié)果表明,該方法能夠有效地提高絕對式光柵尺細分精度,且該方法具有原理簡單、易于實現(xiàn)的優(yōu)點。
[Abstract]:......
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家科技重大專項(2013ZX04007021)
【分類號】：TH711
【正文快照】： 1引言絕對式光柵尺作為長度計量元件,廣泛應(yīng)用于現(xiàn)代機床加工行業(yè)中。絕對式光柵尺的具有開電后直接得到當(dāng)前位置信息,系統(tǒng)無需執(zhí)行參考點回零操作;絕對位置計算在讀數(shù)頭內(nèi)完成,無需后續(xù)細分電路;采用雙向串行通信技術(shù),通信可靠等優(yōu)點[1]。因此,國內(nèi)外中高檔數(shù)控系統(tǒng)中越來越

【參考文獻】

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【共引文獻】

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【二級參考文獻】

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本文編號：1351067