本文關(guān)鍵詞：柔性薄膜光柵數(shù)字化制作及光譜檢測應(yīng)用　出處：《實(shí)驗(yàn)室研究與探索》2016年09期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：建立了數(shù)字微鏡(DMD)數(shù)字化制作系統(tǒng),通過光柵數(shù)字掩模生成、曝光、顯影、PDMS復(fù)制、PDMS固化,制作了PDMS柔性薄膜光柵。將該柔性薄膜光柵應(yīng)用于光柵光譜儀原理系統(tǒng)中,先對系統(tǒng)進(jìn)行定標(biāo),再測量待測光源波長,波長測量相對偏差為2.10%。為了評估光柵的制作質(zhì)量,采用光柵光譜儀原理系統(tǒng)對光柵周期進(jìn)行測量,相對偏差為2.15%;利用光學(xué)輪廓儀對光柵二維、三維形貌進(jìn)行檢測,光柵周期相對偏差為1.45%,光柵的整體輪廓光滑,均勻性較好。制作實(shí)驗(yàn)及測量結(jié)果表明,基于DMD的數(shù)字化制作技術(shù)為柔性微結(jié)構(gòu)及器件的制作提供了一條簡單、高效、低成本、高精度制作的新途徑。
[Abstract]:The digital micromirror (DMD) digital manufacturing system is established. Through the grating digital mask generation, exposure, development, PDMS replication and PDMS curing, PDMS flexible thin film grating is made. The flexible thin film grating is applied to the principle system of grating spectrometer. The system is calibrated first, then the wavelength of the light source to be measured is measured. The relative deviation of wavelength measurement is 2.10%. In order to make the quality evaluation of the grating, the measurement of grating period grating spectrometer system principle, the relative deviation is 2.15%; to detect the grating of 2D and 3D morphology by optical profilometry, grating period relative deviation is 1.45%, the overall outline of the grating is smooth, good uniformity. The experiment and measurement results show that the digital manufacturing technology based on DMD provides a simple, efficient, low-cost and high-precision way for making flexible microstructures and devices.
【作者單位】： 南昌航空大學(xué)大學(xué)物理實(shí)驗(yàn)中心;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61464008) 江西省自然科學(xué)基金(20142BAB211003)
【分類號】：TH744.1
【正文快照】： 0引言隨著柔性高分子材料的研究和聚合物材料的發(fā)展,柔性微結(jié)構(gòu)及器件以其耐用性好、質(zhì)量輕、可彎曲等優(yōu)點(diǎn),廣泛應(yīng)用于高亮度有機(jī)發(fā)光器件[1-3]、傳感器[4-5]、生物芯片[6]和聚合物MEMS[7]等新興領(lǐng)域。柔性微結(jié)構(gòu)的傳統(tǒng)加工方法,如電子束直寫[8]、離子束光刻[9]、激光直寫[10]

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 嚴(yán)躍;分光儀中光柵光譜的彎曲[J];光學(xué)技術(shù);1993年03期

2 胡曉云;光柵光譜演示儀"的研制[J];西北紡織工學(xué)院學(xué)報(bào);1998年03期

3 李百芳;;分光計(jì)測光柵光譜實(shí)驗(yàn)內(nèi)容的拓展[J];物理通報(bào);2013年10期

4 李}，

本文編號：1346191