本文關鍵詞：柔性薄膜光柵數字化制作及光譜檢測應用　出處：《實驗室研究與探索》2016年09期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：建立了數字微鏡(DMD)數字化制作系統(tǒng),通過光柵數字掩模生成、曝光、顯影、PDMS復制、PDMS固化,制作了PDMS柔性薄膜光柵。將該柔性薄膜光柵應用于光柵光譜儀原理系統(tǒng)中,先對系統(tǒng)進行定標,再測量待測光源波長,波長測量相對偏差為2.10%。為了評估光柵的制作質量,采用光柵光譜儀原理系統(tǒng)對光柵周期進行測量,相對偏差為2.15%;利用光學輪廓儀對光柵二維、三維形貌進行檢測,光柵周期相對偏差為1.45%,光柵的整體輪廓光滑,均勻性較好。制作實驗及測量結果表明,基于DMD的數字化制作技術為柔性微結構及器件的制作提供了一條簡單、高效、低成本、高精度制作的新途徑。
[Abstract]:The digital micromirror (DMD) digital manufacturing system is established. Through the grating digital mask generation, exposure, development, PDMS replication and PDMS curing, PDMS flexible thin film grating is made. The flexible thin film grating is applied to the principle system of grating spectrometer. The system is calibrated first, then the wavelength of the light source to be measured is measured. The relative deviation of wavelength measurement is 2.10%. In order to make the quality evaluation of the grating, the measurement of grating period grating spectrometer system principle, the relative deviation is 2.15%; to detect the grating of 2D and 3D morphology by optical profilometry, grating period relative deviation is 1.45%, the overall outline of the grating is smooth, good uniformity. The experiment and measurement results show that the digital manufacturing technology based on DMD provides a simple, efficient, low-cost and high-precision way for making flexible microstructures and devices.
【作者單位】： 南昌航空大學大學物理實驗中心;
【基金】：國家自然科學基金(61464008) 江西省自然科學基金(20142BAB211003)
【分類號】：TH744.1
【正文快照】： 0引言隨著柔性高分子材料的研究和聚合物材料的發(fā)展,柔性微結構及器件以其耐用性好、質量輕、可彎曲等優(yōu)點,廣泛應用于高亮度有機發(fā)光器件[1-3]、傳感器[4-5]、生物芯片[6]和聚合物MEMS[7]等新興領域。柔性微結構的傳統(tǒng)加工方法,如電子束直寫[8]、離子束光刻[9]、激光直寫[10]

【相似文獻】

相關期刊論文 前10條

1 嚴躍;分光儀中光柵光譜的彎曲[J];光學技術;1993年03期

2 胡曉云;光柵光譜演示儀"的研制[J];西北紡織工學院學報;1998年03期

3 李百芳;;分光計測光柵光譜實驗內容的拓展[J];物理通報;2013年10期

4 李}，

本文編號：1346191