本文關(guān)鍵詞：90nm DUV光刻物鏡重力變形及其對(duì)波像差影響分析　出處：《光電工程》2015年03期 　論文類型：期刊論文

  更多相關(guān)文章： 深紫外 投影物鏡 波像差 重力變形 有限元法

【摘要】：本文基于數(shù)值孔徑為0.75,滿足90 nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)的DUV光刻物鏡系統(tǒng),采用在透鏡邊緣施加支撐力的方式進(jìn)行重力變形控制。采用有限元法研究透鏡表面非球面變形與補(bǔ)償力的關(guān)系,分析補(bǔ)償后透鏡重力變形對(duì)系統(tǒng)波像差的影響并與補(bǔ)償前系統(tǒng)進(jìn)行對(duì)比。結(jié)果表明:加邊緣補(bǔ)償力后,透鏡非球面變形均方根最大值由50.877 nm減小至26.675 nm,但補(bǔ)償后系統(tǒng)波像差均方根最大值由0.041λ增大到0.055λ。由此可以得出結(jié)論:該補(bǔ)償方式能夠有效補(bǔ)償透鏡表面非球面變形,但補(bǔ)償后系統(tǒng)波像差反而增大,所以要降低系統(tǒng)的波像差,不僅需要減小透鏡變形,同時(shí)還需考慮各透鏡變形之間的相互補(bǔ)償作用。
【作者單位】： 北京理工大學(xué)光電學(xué)院光電成像技術(shù)與系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家科技重大專項(xiàng)(2009ZX02201-003) 國(guó)家自然基金重點(diǎn)項(xiàng)目(60938003) 光電成像技術(shù)與系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開(kāi)放課題(2013OEIOF05)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 0引言隨著現(xiàn)代集成技術(shù)的飛速發(fā)展,對(duì)光刻系統(tǒng)分辨力的要求也在不斷提高。光刻投影物鏡是光刻系統(tǒng)的核心部分,其光學(xué)性能對(duì)光刻系統(tǒng)分辨力起著決定性作用。目前,90 nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)深紫外(DUV)光刻投影物鏡是光刻系統(tǒng)中的主流物鏡之一,一般由20~30片鏡片組成,要求集成后系統(tǒng)波像差

【參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前7條

1 張德江,劉立人,徐榮偉,李大汕;透鏡自重變形引起波像差的有限元分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2005年04期

2 張健;劉偉奇;王汝冬;康玉思;馮睿;魏忠倫;柳華;;自重變形對(duì)超高精度Fizeau干涉儀的光學(xué)性能影響[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年07期

3 楊光華;李艷秋;;22nm極紫外光刻物鏡熱和結(jié)構(gòu)變形及其對(duì)成像性能影響[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2012年03期

4 趙磊;鞏巖;;光刻物鏡中透鏡高精度支撐結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)及分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2012年09期

5 田偉;王平;王汝冬;王立朋;隋永新;;193nm光刻投影物鏡單鏡支撐仿真分析及實(shí)驗(yàn)研究[J];中國(guó)激光;2012年08期

6 王汝冬;王平;田偉;王立朋;隋永新;楊懷江;;大口徑光學(xué)元件重力變形補(bǔ)償?shù)脑O(shè)計(jì)分析[J];中國(guó)光學(xué);2011年03期

7 倪明陽(yáng);鞏巖;;光刻投影物鏡光學(xué)元件運(yùn)動(dòng)學(xué)支撐結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)與分析[J];中國(guó)光學(xué);2012年05期

【共引文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 張娟;吳永前;伍凡;吳高峰;;高精度干涉儀鏡頭支撐結(jié)構(gòu)的光機(jī)集成分析[J];光電工程;2011年10期

2 宋曉東;楊曉燕;耿安兵;;大視場(chǎng)空間對(duì)地遙感卡塞格林光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)[J];光學(xué)與光電技術(shù);2012年03期

3 彭元靜;袁呂軍;;有限元在大口徑鏡面研制中的應(yīng)用[J];光學(xué)技術(shù);2009年04期

4 陳華;史振廣;隋永新;楊懷江;;干涉檢測(cè)中環(huán)境溫度引起的鏡面變形分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年01期

5 張健;劉偉奇;王汝冬;康玉思;馮睿;魏忠倫;柳華;;自重變形對(duì)超高精度Fizeau干涉儀的光學(xué)性能影響[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2011年07期

6 鐘顯云;范斌;曾志革;周家斌;;φ1.8m輕質(zhì)鏡能動(dòng)磨盤技術(shù)拋光的柔性限位支撐設(shè)計(jì)仿真與優(yōu)化分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2012年03期

7 段學(xué)霆;周仁魁;吳萌源;李英才;王鵬;李華;;中心軸支撐大口徑反射鏡面形裝調(diào)控制方法[J];光子學(xué)報(bào);2011年S1期

8 趙磊;鞏巖;;光刻物鏡中透鏡高精度支撐結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)及分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2012年09期

9 李安虎;李志忠;孫建鋒;卞永明;劉立人;;大口徑旋轉(zhuǎn)偏擺棱鏡徑向支撐優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2012年12期

10 彭海峰;鞏巖;趙磊;;光刻投影物鏡中柔性多彈片支撐方式的性能分析[J];光電工程;2013年02期

相關(guān)博士學(xué)位論文 前3條

1 陳華;高精度面形檢測(cè)中環(huán)境擾動(dòng)因素分析[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

2 張健;超高精度菲索干涉儀不確定度分析[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

3 劉兆棟;φ600mm近紅外相移斐索干涉儀校準(zhǔn)及測(cè)試技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2011年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前5條

1 關(guān)強(qiáng);單兵紅外觀瞄系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及分析[D];昆明理工大學(xué);2011年

2 王國(guó)棟;紅外顯微鏡熱成像系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及分析[D];昆明理工大學(xué);2011年

3 宋文超;振動(dòng)失調(diào)光學(xué)系統(tǒng)的四元數(shù)計(jì)算方法與仿真[D];西安電子科技大學(xué);2007年

4 楊亮;緊湊型連續(xù)變焦紅外鏡頭的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及分析[D];昆明理工大學(xué);2013年

5 楊麗娟;透鏡重力變形補(bǔ)償技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（光電技術(shù)研究所）;2014年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 周慎杰，章思炎，王旭東;中厚扁球殼彎曲問(wèn)題的一般解[J];福州大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1994年04期

2 吳鷹飛,周兆英;柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)計(jì)算[J];工程力學(xué);2002年06期

3 包世華，，張銅生;扁球殼在集中荷載作用下位移和內(nèi)力的計(jì)算公式和數(shù)值表[J];工程力學(xué);1994年02期

4 雷江,蔣世磊,程剛;高精度光刻物鏡的變形研究[J];光電工程;2005年02期

5 王洋;張景旭;;大口徑望遠(yuǎn)鏡主鏡支撐優(yōu)化分析[J];光電工程;2009年01期

6 邢廷文;何國(guó)良;舒亮;;193nm移相點(diǎn)衍射干涉儀的測(cè)量誤差分析[J];光電工程;2009年02期

7 武旭華;陳磊;王磊;;φ300mm干涉儀參考鏡的設(shè)計(jì)及測(cè)試[J];光學(xué)精密工程;2007年08期

8 閆勇;賈繼強(qiáng);金光;;新型輕質(zhì)大口徑空間反射鏡支撐設(shè)計(jì)[J];光學(xué)精密工程;2008年08期

9 曾春梅;郭培基;余景池;;0.5m超薄鏡主動(dòng)支撐面形校正及實(shí)驗(yàn)[J];光學(xué)精密工程;2010年03期

10 王忠素;翟巖;梅貴;江帆;程志峰;;空間光學(xué)遙感器反射鏡柔性支撐的設(shè)計(jì)[J];光學(xué)精密工程;2010年08期

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前1條

1 李婧;變厚度圓板軸對(duì)稱非線性分析[D];天津大學(xué);2004年

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前10條

1 王海明,米航宇;衍射譜位相恢復(fù)——一種測(cè)量波像差的新方法[J];中國(guó)激光;1988年11期

2 呂麗軍;石亮;;平面對(duì)稱光學(xué)系統(tǒng)像差理論的擴(kuò)展[J];光學(xué)精密工程;2009年12期

3 郭志英;;掠入射光柵單色器系統(tǒng)像差計(jì)算和分析[J];光學(xué)機(jī)械;1988年03期

4 車馳騁;李英才;樊學(xué)武;馬臻;胡永明;;基于矢量波像差理論的計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào)技術(shù)研究[J];光子學(xué)報(bào);2008年08期

5 孔小輝;樊學(xué)武;;基于矢量波像差理論的兩鏡系統(tǒng)裝調(diào)技術(shù)研究[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2010年08期

6 徐挺;朱國(guó)強(qiáng);;基于波像差理論的光學(xué)系統(tǒng)評(píng)價(jià)函數(shù)[J];光學(xué)儀器;2010年03期

7 張德江,劉立人,徐榮偉,李大汕;透鏡自重變形引起波像差的有限元分析[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2005年04期

8 段學(xué)霆;周仁魁;陳建軍;付興;李華;;基于波像差檢測(cè)的大口徑RC光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)分析[J];光子學(xué)報(bào);2012年01期

9 符媛英;李艷秋;劉曉林;曹振;劉克;;投影光刻物鏡波像差的公差分析方法[J];光學(xué)技術(shù);2014年04期

10 鐘麗云,楊齊民,張文碧,呂曉旭,熊秉衡;全息圖再現(xiàn)像的波像差與兩步拍攝法的光路設(shè)計(jì)[J];光電子·激光;1999年04期

相關(guān)會(huì)議論文 前1條

1 張學(xué)敏;魏儒義;李華;段嘉友;楊建峰;;基于自準(zhǔn)直原理的小視場(chǎng)鏡頭波像差測(cè)試系統(tǒng)[A];中國(guó)光學(xué)學(xué)會(huì)2011年學(xué)術(shù)大會(huì)摘要集[C];2011年

相關(guān)博士學(xué)位論文 前3條

1 史廣維;基于矢量波像差理論的反射望遠(yuǎn)系統(tǒng)裝調(diào)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

2 張宇;極紫外光刻物鏡系統(tǒng)波像差檢測(cè)技術(shù)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2012年

3 陳旭;溫度變化對(duì)絕對(duì)檢驗(yàn)面形變形影響與補(bǔ)償器方法研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

相關(guān)碩士學(xué)位論文 前4條

1 張偉;脈沖壓縮光柵波像差理論與實(shí)驗(yàn)研究[D];蘇州大學(xué);2005年

2 謝本超;近柱面干涉檢測(cè)研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2005年

3 魏江;大口徑光柵全息曝光拼接精度的理論研究[D];蘇州大學(xué);2009年

4 徐麗萍;一種多通道可變距離激光聚焦收發(fā)系統(tǒng)的研制[D];南京理工大學(xué);2014年

本文編號(hào)：1323952