本文關(guān)鍵詞：基于閉環(huán)靈敏度的微加速度計制造誤差的評估　出處：《儀表技術(shù)與傳感器》2015年08期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：微加速度計的制造誤差對靈敏度、量程、線性度等指標(biāo)均有重要影響,文中基于電測法和微加速度計的閉環(huán)靈敏度,提出了一種簡便且準(zhǔn)確的評估制造誤差的方法。文中首先基于有限元法提取了梳齒電容與質(zhì)量塊位移之間的函數(shù)關(guān)系。其次,基于電容-位移函數(shù)以及閉環(huán)微加速度計必須滿足的平衡條件,推導(dǎo)出了靈敏度的計算公式。最后,基于靈敏度公式與實(shí)測靈敏度值,反推得到微加速度計的制造誤差。文中以兩種不同幾何尺寸的微加速度計為例,通過實(shí)驗驗證了文中所提出方法的正確性。
【作者單位】： 西南交通大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;中國工程物理研究院電子工程研究所;電子科技大學(xué)機(jī)械電子工程學(xué)院;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項目(51175437) 中央高�；究蒲谢痦椖�(ZYGX2011J085)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 0引言微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)器件的制造技術(shù)雖然與宏觀機(jī)械制造技術(shù)有很大的不同,但同樣存在一定的制造誤差。制造誤差將使器件的實(shí)際尺寸與設(shè)計尺寸產(chǎn)生偏差,如圖1所示,虛線表示設(shè)計尺寸,實(shí)線表示實(shí)際尺寸,它們之間的差值便是制造誤差。研究表明,制造誤差對微彈簧的剛度[1]、微諧

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中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前8條

1 劉曉e

本文編號：1318706