發(fā)布時(shí)間：2017-12-20 23:37

  本文關(guān)鍵詞：硅微諧振加速度計(jì)高精度相位閉環(huán)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)　出處：《中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào)》2014年05期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：硅微諧振加速度計(jì)因具有小體積優(yōu)勢(shì)和高精度潛力,成為硅微慣性傳感器研制的熱點(diǎn)之一。高精度相位閉環(huán)控制系統(tǒng)是決定硅微諧振加速度計(jì)精度水平的重要因素。在分析硅微諧振加速度計(jì)工作機(jī)理的基礎(chǔ)上,從閉環(huán)控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)的角度,分析了相位閉環(huán)控制回路的原理,提出了一種可以消除勻加速誤差的高精度三階無(wú)靜差相位閉環(huán)控制方案。給出了設(shè)計(jì)思路,研究了環(huán)路性能測(cè)試方法,討論了閉環(huán)系統(tǒng)相位誤差的來(lái)源與抑制方法。所設(shè)計(jì)的閉環(huán)回路在0.1 Hz處?kù)o態(tài)增益為170 dB,啟動(dòng)時(shí)間小于20 ms,實(shí)測(cè)帶寬為432 Hz,全溫范圍內(nèi)相位閉環(huán)回路相差變化0.84°,系統(tǒng)參數(shù)滿足設(shè)計(jì)指標(biāo)。
【作者單位】： 北京航天控制儀器研究所;
【基金】：國(guó)防基礎(chǔ)科研項(xiàng)目支持(A0320110013)
【分類號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 硅微諧振加速度計(jì)是一種新型加速度計(jì),與傳統(tǒng)電容式加速度計(jì)位移敏感原理不同,其利用力敏感原理,通過(guò)諧振結(jié)構(gòu)輸出與外界輸入加速度成比例的頻率信號(hào),無(wú)需A/D轉(zhuǎn)換電路即可與數(shù)字電路接口,大大簡(jiǎn)化了處理電路,在保持MEMS儀表小體積、低功耗等特點(diǎn)的同時(shí),為進(jìn)一步提高M(jìn)EMS慣性儀

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 王巍;王巖;莊海涵;邢朝洋;;硅微諧振加速度計(jì)交流檢測(cè)信號(hào)解耦技術(shù)[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2012年04期

2 王巍;王巖;莊海涵;邢朝洋;;諧振式硅微加速度計(jì)閉環(huán)控制系統(tǒng)的分析與設(shè)計(jì)[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2012年06期

3 王巍;王巖;莊海涵;邢朝洋;;硅微諧振加速度計(jì)的溫度特性[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2013年02期

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前5條

1 王帆;董景新;趙淑明;;硅微振梁式加速度計(jì)的溫度檢測(cè)及閉環(huán)控制[J];光學(xué)精密工程;2014年06期

2 王巍;王巖;莊海涵;邢朝洋;;諧振式硅微加速度計(jì)閉環(huán)控制系統(tǒng)的分析與設(shè)計(jì)[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2012年06期

3 王巍;王巖;莊海涵;邢朝洋;;硅微諧振加速度計(jì)的溫度特性[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2013年02期

4 王帆;董景新;趙淑明;嚴(yán)斌;;硅微振梁式加速度計(jì)抗溫漂的微結(jié)構(gòu)及工藝設(shè)計(jì)[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2014年02期

5 苗新法;王秀華;張明柱;吳榮斌;;閉環(huán)加速度計(jì)的控制數(shù)字化分析[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2014年02期

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 張祖?zhèn)?基于聲光效應(yīng)的MEMS加速度傳感器基礎(chǔ)理論與關(guān)鍵技術(shù)研究[D];重慶大學(xué);2013年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

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1 任杰;樊尚春;;硅基諧振式微機(jī)械加速度計(jì)的設(shè)計(jì)與仿真計(jì)算[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2007年09期

2 陳衛(wèi)衛(wèi);黃麗斌;楊波;;不等基頻硅微諧振式加速度計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2011年11期

3 石然;裘安萍;蘇巖;;硅微諧振式加速度計(jì)的實(shí)現(xiàn)及性能測(cè)試[J];光學(xué)精密工程;2010年12期

4 裘安萍;董金虎;;硅微諧振式加速度計(jì)的溫度效應(yīng)及補(bǔ)償[J];納米技術(shù)與精密工程;2012年03期

5 胡m，

本文編號(hào)：1313855