本文關鍵詞：基于子孔徑拼接法測量高精度反射鏡

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【摘要】：為了解決高精度光學反射鏡的子孔徑拼接檢測問題,基于最小二乘擬合,依據拼接算法建立數學模型,編制了拼接程序,同時對口徑為Φ120mm的平面反射鏡進行了拼接檢測。檢測中,基于標記點確定子孔徑間的相對位置,完成子孔徑間的對準。分別基于全口徑檢測結果與自檢驗子孔徑測試結果對拼接結果進行精度分析。實驗結果表明:拼接結果無"拼痕",拼接結果與全口徑測試結果、自檢驗子孔徑測試結果一致;拼接結果與全口徑面形測試的PV值與RMS值的偏差分別為0.020λ與0.002λ,驗證了檢測的可靠性和準確性。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所中國科學院光學系統先進制造技術重點實驗室;
【基金】：863基金資助項目(O8663NJ090) 973基金資助項目(2011CB0132005) 國家自然科學基金重點項目(61036015)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 引言大口徑光學平面鏡的檢測,在傳統光學檢測中,通常需要配備大口徑干涉儀或者搭建Ritchey-common形式的檢驗光路[1-2],這時往往需要一塊與被檢元件尺寸相同甚至更大尺寸的參考光學平面或球面,然而制造和檢測大口徑參考平面鏡和球面鏡存在很多的困難,并且所需的時間很長,費用

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本文編號：1304468