本文關(guān)鍵詞：基于激光干涉儀的垂直軸宏微復(fù)合平臺直線度測量及誤差分析

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【摘要】：設(shè)計了一個垂直軸宏微復(fù)合平臺,宏動臺采用交叉滾柱導(dǎo)軌,直線電機驅(qū)動,微動臺采用柔性鉸鏈導(dǎo)向機構(gòu),壓電陶瓷驅(qū)動,對微動臺固有頻率進行了測試,其固有頻率為351 Hz,響應(yīng)速度快。然后基于激光干涉儀搭建了宏微復(fù)合平臺直線度測量系統(tǒng),獲得了-100 mm~100 mm的直線度誤差值,分別用兩端點連線法以及最小二乘法分析了實驗數(shù)據(jù),得到了平臺導(dǎo)軌的直線度誤差25.32μm。最后測試了微動臺的低頻動態(tài)位移輸出,可達56.59μm,能滿足宏動臺直線度補償要求,該研究為直線度誤差補償提供了依據(jù)。
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)機電工程學(xué)院廣東省微納加工技術(shù)與裝備重點實驗室;
【基金】：廣東省引進創(chuàng)新科研團隊計劃(201001G0104781202) 廣東省科技計劃資助項目(2012B091000082,2011A090200119)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 精密工程涉及到微電子制造、光電測量儀器、各種超精密加工等領(lǐng)域,既是先進科學(xué)技術(shù)的一個綜合體現(xiàn),也從一個方面代表著國家的綜合實力。精密定位技術(shù)是精密工程的關(guān)鍵技術(shù)之一,定位系統(tǒng)在各種精密機械設(shè)備中都起到關(guān)鍵性的作用[1]。目前超精密定位工作臺可以分為單層工作臺和

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本文編號：1302658