本文關(guān)鍵詞：一種去除拼接干涉圖中累積誤差的簡單方法

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【摘要】：用子孔徑拼接干涉法來檢測大口徑光學(xué)元件和光學(xué)系統(tǒng)是一種成本較低的有效手段。但是隨著子孔徑數(shù)目的增加,拼接得到的面形圖中存在著很大的累積誤差嚴(yán)重影響了拼接的精度,因此如何簡單快速地去除累積誤差成為子孔徑拼接干涉檢測法研究的主要問題之一。文中介紹了一種簡單且快速的方法去除拼接中的累積誤差。并且對一個(gè)大小為180 mm×80 mm的平面鏡進(jìn)行了6個(gè)子孔徑拼接檢測實(shí)驗(yàn)。在實(shí)驗(yàn)中,文中提出的方法很好的去除了拼接中的累積誤差。
【作者單位】： 北京空間機(jī)電研究所;
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言隨著現(xiàn)代光學(xué)應(yīng)用技術(shù)的飛速發(fā)展,對光學(xué)系統(tǒng)性能的要求也日益提高,光學(xué)元件朝著大型化,高精度的方向發(fā)展,但是大口徑平面鏡、大口徑的凸非球面鏡、小F數(shù)的大口徑凸球面鏡面形以及大口徑光學(xué)系統(tǒng)的波像差檢測均存在檢測難題。子孔徑拼接法可以利用小口徑干涉儀通過拼接

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本文編號：1295503