本文關(guān)鍵詞：基于單一敏感質(zhì)量的三軸電容加速度計(jì)的設(shè)計(jì)

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【摘要】：設(shè)計(jì)了一種單一敏感質(zhì)量的三軸電容加速度計(jì)。該器件采用全差分電容的檢測方法,滿足了靈敏度的設(shè)計(jì)要求并解決了三軸的交叉耦合問題,其獨(dú)特的單一敏感質(zhì)量結(jié)構(gòu)減小了器件的整體尺寸,降低了成本。器件由外延多晶硅工藝實(shí)現(xiàn)了18μm的厚度制作,降低了熱機(jī)械噪聲,增大了檢測電容,提高了靈敏度、分辨率和可靠性。ANSYS仿真結(jié)果表明,器件在3個(gè)軸向的靈敏度一致性好,抗干擾,測試結(jié)果和理論分析相符。該加速度計(jì)結(jié)構(gòu)工藝簡單,在消費(fèi)電子領(lǐng)域有較好的應(yīng)用前景。
【作者單位】： 蘇州大學(xué)機(jī)器人與微系統(tǒng)研究中心&蘇州納米科技協(xié)同創(chuàng)新中心;
【基金】：國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(“八六三”計(jì)劃)資助項(xiàng)目(2011AA040404) 高等學(xué)校博士學(xué)科點(diǎn)專項(xiàng)科研基金資助項(xiàng)目(20133201110009) 新世紀(jì)優(yōu)秀人才支持計(jì)劃資助項(xiàng)目(NCET-13-0923)
【分類號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 引言隨著微機(jī)械電子系統(tǒng)技術(shù)的不斷成熟,硅微機(jī)械加速度計(jì)成功地在汽車氣囊、防抱死制動(dòng)系統(tǒng)、手機(jī)、平板、游戲手柄和航模等領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用[1-3]。電容式微加速度計(jì)以其溫度漂移效應(yīng)小、溫度穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)相對(duì)簡單、單位芯片面積靈敏度高、功耗低、易于構(gòu)成高精度的力平衡

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