發(fā)布時間：2017-12-14 23:23

  本文關(guān)鍵詞：全自動薄膜應(yīng)力儀

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【摘要】：基于基片彎曲法原理,利用光杠桿放大曲率的方法,本工作研制了一套高精度全自動薄膜應(yīng)力測試儀。在前期工作的基礎(chǔ)上,該儀器實(shí)現(xiàn)了樣品中心自動定位,樣品表面曲率半徑高精度測試,以及薄膜殘余應(yīng)力值自動計算等功能。標(biāo)準(zhǔn)光學(xué)玻璃圓臺表面曲率半徑的實(shí)測結(jié)果表明,應(yīng)力儀測試精度達(dá)到千分位。此外,TiN薄膜應(yīng)力沿層深分布的測試結(jié)果進(jìn)一步驗(yàn)證了設(shè)備的可靠性。
【作者單位】： 深圳職業(yè)技術(shù)學(xué)院深圳現(xiàn)代設(shè)計與制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;深圳市速普儀器有限公司;
【基金】：國家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(No.51401128) 深圳市科技計劃項(xiàng)目(No.JCYJ20140508155916426)
【分類號】：TH823
【正文快照】： 近年來,薄膜技術(shù)與薄膜材料迅猛發(fā)展,被廣泛應(yīng)用到微電子、傳感器、太陽能、光學(xué)、信息、防護(hù)等各個領(lǐng)域。大量的研究表明,薄膜的殘余應(yīng)力、膜基結(jié)合力和屈服強(qiáng)度是導(dǎo)致薄膜系統(tǒng)失效的三大主要因素。薄膜的殘余應(yīng)力會顯著影響薄膜的膜基結(jié)合力、屈服強(qiáng)度、摩擦磨損以及腐蝕等，

本文編號：1289741