本文關(guān)鍵詞：高精度平面子孔徑拼接算法研究

  更多相關(guān)文章： 測量 干涉測量 大口徑平面鏡 子孔徑拼接 誤差累積

【摘要】：對平面子孔徑拼接累積誤差的理論分析及數(shù)值仿真表明,參考鏡面形的拼接重疊區(qū)域的局部斜率差和直流偏差是產(chǎn)生累積誤差的原因。為了提高大口徑平面光學(xué)元件子孔徑拼接檢測精度,提出一種簡單有效的可以減小子孔徑拼接測量累積誤差的方法,該方法采用第4項(xiàng)和第6項(xiàng)澤尼克像差擬合一個(gè)假設(shè)的準(zhǔn)參考鏡面形,再從每個(gè)子孔徑測量結(jié)果中減去,最后拼接合成全口徑面形。對450mm×60mm的平面鏡進(jìn)行了8個(gè)子孔徑的拼接檢測,去除準(zhǔn)參考鏡面形前后,拼接測量結(jié)果與Zygo公司24英寸(600mm)口徑干涉儀檢測結(jié)果的偏差峰谷(PV)值從λ/7減小至λ/100。所擬合的準(zhǔn)參考鏡面形誤差為0.02λ(PV值),與標(biāo)準(zhǔn)鏡的面形誤差為同一量級,其對每個(gè)子孔徑測量結(jié)果的影響可以忽略。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,本文方法能夠有效控制拼接累積誤差,提高拼接檢測精度。
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所信息光學(xué)與光電技術(shù)實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金(60938003,61205102,61275207) 中國科學(xué)院青年創(chuàng)新促進(jìn)會
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1104002-1隨著現(xiàn)代光學(xué)的發(fā)展,大口徑平面光學(xué)元件在極大規(guī)模集成電路制造、天文望遠(yuǎn)鏡、慣性約束聚變和同步輻射等系統(tǒng)中的應(yīng)用越來越廣泛,也對大口徑光學(xué)元件的面形檢測精度提出了很高的要求。子孔徑拼接方法易拓展測量口徑、測量空間分辨率高、系統(tǒng)成本低,能夠?qū)崿F(xiàn)大口徑光

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 Stephen C.Jensen;Weng W. Chow;George N.Lawrence;李澤瑜;;兩種子孔徑檢測方法的比較[J];光學(xué)工程;1985年06期

2 白劍,程上彝;子孔徑檢測及拼接的矩陣分析[J];上海交通大學(xué)學(xué)報(bào);1997年07期

3 白劍,程上彝;子孔徑檢測及拼接的目標(biāo)函數(shù)分析法[J];光學(xué)儀器;1997年S1期

4 白劍;程上彝;;子孔徑檢測及拼接的目標(biāo)函數(shù)分析法[J];光學(xué)儀器;1997年Z1期

5 鄭立功;;基于子孔徑拼接法測量高精度反射鏡[J];應(yīng)用光學(xué);2014年01期

6 田愛玲;吳世霞;劉丙才;張鵬飛;;基于權(quán)重的子孔徑拼接優(yōu)化算法研究[J];光子學(xué)報(bào);2013年08期

7 蘇云;李博;;子孔徑拼接檢測方法的目標(biāo)函數(shù)優(yōu)化[J];航天返回與遙感;2008年01期

8 曹召良;胡五生;穆全全;胡立發(fā);彭增輝;劉永剛;宣麗;;子孔徑光學(xué)檢測拼接準(zhǔn)確度實(shí)驗(yàn)研究[J];光子學(xué)報(bào);2008年06期

9 陳一巍;王飛;王高文;隋永新;楊懷江;;基于變換的子孔徑拼接新算法[J];光學(xué)學(xué)報(bào);2013年09期

10 侯溪,伍凡,楊力,吳時(shí)彬,陳強(qiáng);環(huán)形子孔徑拼接算法的精度影響因素分析[J];光電工程;2005年03期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前8條

1 董軍;張蓉竹;張均;許喬;蔡邦維;;子孔徑拼接檢測技術(shù)中樣本容量的確定[A];第十屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2004年

2 張蓉竹;許喬;楊春林;蔡邦維;;子孔徑拼接干涉檢測技術(shù)研究[A];大珩先生九十華誕文集暨中國光學(xué)學(xué)會2004年學(xué)術(shù)大會論文集[C];2004年

3 王青;傅英;;子孔徑拼接測試中的系統(tǒng)誤差放大效應(yīng)及其消除方法[A];第十三屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2010年

4 陳善勇;李圣怡;戴一帆;;非球面的子孔徑拼接干涉測量方法[A];提高全民科學(xué)素質(zhì)、建設(shè)創(chuàng)新型國家——2006中國科協(xié)年會論文集（下冊）[C];2006年

5 張蓉竹;;大口徑光學(xué)鏡面子孔徑拼接檢測技術(shù)[A];提高全民科學(xué)素質(zhì)、建設(shè)創(chuàng)新型國家——2006中國科協(xié)年會論文集（下冊）[C];2006年

6 侯溪;伍凡;吳時(shí)彬;陳強(qiáng);;子孔徑拼接測試技術(shù)現(xiàn)狀及發(fā)展趨勢[A];第十屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2004年

7 張蓉竹;楊春林;石琪凱;;子孔徑拼接干涉檢測技術(shù)[A];中國工程物理研究院科技年報(bào)（2002）[C];2002年

8 馬冬梅;張波;韓昌元;;基于子孔徑角差測試掃描技術(shù)檢測大口徑光學(xué)平面基準(zhǔn)[A];第十一屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2006年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 謝超;光學(xué)鏡面相位恢復(fù)子孔徑拼接測量技術(shù)研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2013年

2 陳一巍;子孔徑拼接檢測方法的研究[D];中國科學(xué)院研究生院(長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所);2015年

3 高天元;子孔徑拼接成像系統(tǒng)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)及裝調(diào)方法的研究[D];長春理工大學(xué);2012年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 楊靖;光學(xué)鏡面子孔徑拼接算法的性能研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2008年

2 鄭婉U，

本文編號：1280526