發(fā)布時間：2017-12-11 09:24

  本文關(guān)鍵詞：大口徑離軸長條形反射鏡的檢測支撐機(jī)構(gòu)

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【摘要】：針對大口徑離軸長條形反射鏡光軸水平向檢測的需要,設(shè)計了一套檢測支撐結(jié)構(gòu)。優(yōu)化了結(jié)構(gòu)參數(shù),實(shí)現(xiàn)了由支撐結(jié)構(gòu)引起的鏡面面形誤差最小化。通過比較長條形反射鏡光軸水平向檢測支撐的級聯(lián)多點(diǎn)支撐結(jié)構(gòu),選擇了結(jié)構(gòu)簡單、擴(kuò)展性和調(diào)整性優(yōu)良的兩點(diǎn)單層固定支撐結(jié)構(gòu)。利用集成仿真與優(yōu)化方法,分析計算反射鏡鏡面面形誤差隨支撐間隔的變化趨勢,確定了最優(yōu)支撐間隔。最后,利用干涉儀結(jié)合補(bǔ)償器的檢測方式,對不同支撐間隔工況下鏡面面形進(jìn)行檢測,驗(yàn)證了仿真分析的可靠性。結(jié)果表明:在支撐間隔為564mm時,由檢測支撐引起的鏡面面形誤差最小(RMS=8.26nm),干涉檢測得到的鏡面面形誤差隨支撐間隔的變化趨勢與仿真得到的趨勢相符,仿真結(jié)果可靠性高。提出的方法可實(shí)施性好,可推廣到其他大口徑離軸長條形反射鏡的設(shè)計和檢測中,為離軸三反(TMA)相機(jī)的設(shè)計提供技術(shù)基礎(chǔ)。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家863高技術(shù)研究發(fā)展計劃資助項(xiàng)目(No.863-2-5-1-13B)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言在離軸三反消像散光學(xué)系統(tǒng)(Three MirrorAnastigmatism,TMA)中,為了實(shí)現(xiàn)大視場成像,主鏡、三鏡常采用長條形離軸非球面反射鏡。作為TMA光學(xué)系統(tǒng)中最大和次大的2塊反射鏡,主鏡和三鏡的面形精度對光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量影響敏感度高[1-4]。在加工、鍍膜等制備過程中,需要對反

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【共引文獻(xiàn)】

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1 陶津平;楚衡s，

本文編號：1277935