發(fā)布時間：2017-12-09 17:35

  本文關(guān)鍵詞：基于顯微光杠桿技術(shù)的微結(jié)構(gòu)偏轉(zhuǎn)角測量系統(tǒng)

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【摘要】：針對微結(jié)構(gòu)的偏轉(zhuǎn)角度測試需求,設(shè)計并搭建了一套基于顯微光杠桿技術(shù)的角度測量系統(tǒng)。該系統(tǒng)將光杠桿光路與無限共軛顯微光路相結(jié)合,所得聚焦光斑直徑小于10μm;采用電流模式電路處理四象限探測器輸出信號,系統(tǒng)理論帶寬超過5MHz;系統(tǒng)對微結(jié)構(gòu)的轉(zhuǎn)角測量分辨力和理論量程分別可達1.2″和±4°。利用該系統(tǒng)測量了原子力顯微鏡微懸臂梁探針在步進載荷下的偏轉(zhuǎn)情況,測量結(jié)果與鐵摩辛柯梁理論計算一致,驗證了系統(tǒng)的可靠性。
【作者單位】： 天津大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點實驗室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(61204117,51075297) 863計劃項目(2012AA041204)
【分類號】：TH712
【正文快照】： 0引言微納測試技術(shù)對于微納米材料的發(fā)展、微納米器件和系統(tǒng)的開發(fā)研究具有十分重要的意義,其中微納米幾何量測量技術(shù)作為微納測試技術(shù)的基礎(chǔ),顯得尤為關(guān)鍵[1]。角度測量是幾何量測量的重要組成部分,迄今已積累了大量成熟的技術(shù)方案,如發(fā)展較早的機械測角法、電磁測角法,以及

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