本文關(guān)鍵詞：磁控濺射制備持久性銀反射鏡研究

  更多相關(guān)文章： 薄膜 銀反射鏡 磁控濺射 SiNx薄膜 Ar/N混合

【摘要】：研究了磁控濺射制備Sub/NiCrN_x/Ag/NiCrN_x/SiN_x/Air多層結(jié)構(gòu)銀反射鏡的特性,分析了N_2對(duì)Ag薄膜、介質(zhì)保護(hù)層及銀反射鏡光譜的影響。采用深度剖析X射線(xiàn)光電子能譜和透射電子顯微鏡分析了銀反射鏡短波波段(400~500nm)反射率偏低的原因。采用分光光度計(jì)、掃描電子顯微鏡和X射線(xiàn)衍射儀研究了N_2占比對(duì)Ar/N_2混合氣體濺射制備單層銀膜光學(xué)性質(zhì)、表面形貌及晶向結(jié)構(gòu)的影響,比較了不同Ar/N_2比例混合氣體濺射制備銀反射鏡的反射率,并分析了對(duì)應(yīng)樣品SiN_x保護(hù)層的化學(xué)計(jì)量比。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,濺射制備銀膜時(shí),在Ar中引入一定比例的N_2,SiN_x保護(hù)層的化學(xué)計(jì)量比得到改善。當(dāng)N_2體積比由0上升至40%時(shí),Ar/N_2混合氣體濺射制備的銀反射鏡在400nm波長(zhǎng)處反射率由71.7%提高到79.3%。此外,基于Ar/N_2混合氣體濺射濺射制備的銀反射鏡樣品具備優(yōu)良的環(huán)境穩(wěn)定性。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所;中國(guó)科學(xué)院大學(xué);電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院;
【分類(lèi)號(hào)】：TH751
【正文快照】： 2中國(guó)科學(xué)院大學(xué),北京1000493電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院,四川成都6100541203002-1天文望遠(yuǎn)鏡作為人類(lèi)觀察宇宙的重要工具,其探測(cè)能力和空間分辨率主要受主鏡口徑的限制。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,天文望遠(yuǎn)鏡口徑越來(lái)越大,大口徑主鏡鍍膜已成為關(guān)注焦點(diǎn)[1]。一般情況下,主鏡膜層需要

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 王立;磁控濺射靶源特性研究[J];咸陽(yáng)師范學(xué)院學(xué)報(bào);2004年06期

2 靳毅;肖飛;溫旭輝;姜昕;;平面旋轉(zhuǎn)磁控濺射源的研究[J];真空;2008年04期

3 易泰民;邢丕峰;唐永建;張林;鄭鳳成;謝軍;李朝陽(yáng);楊蒙生;;磁控濺射制備金屬鈾膜[J];原子能科學(xué)技術(shù);2010年07期

4 凌世德,程維明;磁控濺射槍的設(shè)計(jì)與應(yīng)用[J];上海機(jī)械學(xué)院學(xué)報(bào);1986年03期

5 范玉殿,馬志龍,孫培芬,亢海霞,尤引娟;一種新型平面磁控濺射靶[J];真空科學(xué)與技術(shù);1987年01期

6 王貴義,王世忠,唐素筠;磁控濺射和它的應(yīng)用[J];核聚變與等離子體物理;1989年02期

7 劉聲雷;磁控濺射制備超導(dǎo)量子結(jié)[J];真空;1994年02期

8 黃士勇，，王德苗，曲風(fēng)欽，苗曄;大型旋轉(zhuǎn)圓柱形磁控濺射器[J];真空電子技術(shù);1998年04期

9 牟宗信,李國(guó)卿,車(chē)德良,黃開(kāi)玉,柳翠;非平衡磁控濺射沉積系統(tǒng)伏安特性模型研究[J];物理學(xué)報(bào);2004年06期

10 張建民,王立,梁昌慧;磁控濺射靶源設(shè)計(jì)及濺射工藝研究[J];陜西師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1999年01期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 梁愛(ài)鳳;楊化偉;王宇鋼;;磁控濺射與離子鍍技術(shù)在高分子核孔膜中的沉積形貌研究[A];2008年全國(guó)荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會(huì)議暨中國(guó)電工技術(shù)學(xué)會(huì)第十二屆電子束離子束學(xué)術(shù)年會(huì)、中國(guó)電子學(xué)會(huì)焊接專(zhuān)業(yè)委員會(huì)第九屆全國(guó)電子束焊接學(xué)術(shù)交流會(huì)、粒子加速器學(xué)會(huì)第十一屆全國(guó)離子源學(xué)術(shù)交流會(huì)、中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)焊接分會(huì)2008年全國(guó)高能束加工技術(shù)研討會(huì)、北京電機(jī)工程學(xué)會(huì)第十屆粒子加速器學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2008年

2 楊種田;楊兵;周霖;劉傳勝;葉明生;付德君;;多弧-中頻磁控濺射沉積Ti-Si-N結(jié)構(gòu)與性能[A];2008年全國(guó)荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會(huì)議暨中國(guó)電工技術(shù)學(xué)會(huì)第十二屆電子束離子束學(xué)術(shù)年會(huì)、中國(guó)電子學(xué)會(huì)焊接專(zhuān)業(yè)委員會(huì)第九屆全國(guó)電子束焊接學(xué)術(shù)交流會(huì)、粒子加速器學(xué)會(huì)第十一屆全國(guó)離子源學(xué)術(shù)交流會(huì)、中國(guó)機(jī)械工程學(xué)會(huì)焊接分會(huì)2008年全國(guó)高能束加工技術(shù)研討會(huì)、北京電機(jī)工程學(xué)會(huì)第十屆粒子加速器學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2008年

3 王軍生;童洪輝;趙嘉學(xué);韓大凱;戴彬;;影響磁控濺射均勻性的因素[A];第十三屆全國(guó)等離子體科學(xué)技術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年

4 鄭華;劉實(shí);于洪波;王隆保;施力群;劉超卓;;磁控濺射方法制備含氦鈦膜及氦的熱解吸研究[A];第八屆全國(guó)核靶技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文摘要集[C];2004年

5 王成彪;于翔;劉陽(yáng);于德洋;呂建國(guó);;三種中頻對(duì)靶磁控濺射類(lèi)金剛石膜的性能比較[A];第六屆全國(guó)表面工程學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2006年

6 張龍;朱健;吳t

本文編號(hào)：1261311