本文關(guān)鍵詞：磁控濺射制備持久性銀反射鏡研究

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【摘要】：研究了磁控濺射制備Sub/NiCrN_x/Ag/NiCrN_x/SiN_x/Air多層結(jié)構(gòu)銀反射鏡的特性,分析了N_2對Ag薄膜、介質(zhì)保護(hù)層及銀反射鏡光譜的影響。采用深度剖析X射線光電子能譜和透射電子顯微鏡分析了銀反射鏡短波波段(400~500nm)反射率偏低的原因。采用分光光度計(jì)、掃描電子顯微鏡和X射線衍射儀研究了N_2占比對Ar/N_2混合氣體濺射制備單層銀膜光學(xué)性質(zhì)、表面形貌及晶向結(jié)構(gòu)的影響,比較了不同Ar/N_2比例混合氣體濺射制備銀反射鏡的反射率,并分析了對應(yīng)樣品SiN_x保護(hù)層的化學(xué)計(jì)量比。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示,濺射制備銀膜時(shí),在Ar中引入一定比例的N_2,SiN_x保護(hù)層的化學(xué)計(jì)量比得到改善。當(dāng)N_2體積比由0上升至40%時(shí),Ar/N_2混合氣體濺射制備的銀反射鏡在400nm波長處反射率由71.7%提高到79.3%。此外,基于Ar/N_2混合氣體濺射濺射制備的銀反射鏡樣品具備優(yōu)良的環(huán)境穩(wěn)定性。
【作者單位】： 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所;中國科學(xué)院大學(xué);電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院;
【分類號】：TH751
【正文快照】： 2中國科學(xué)院大學(xué),北京1000493電子科技大學(xué)光電信息學(xué)院,四川成都6100541203002-1天文望遠(yuǎn)鏡作為人類觀察宇宙的重要工具,其探測能力和空間分辨率主要受主鏡口徑的限制。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,天文望遠(yuǎn)鏡口徑越來越大,大口徑主鏡鍍膜已成為關(guān)注焦點(diǎn)[1]。一般情況下,主鏡膜層需要

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2 靳毅;肖飛;溫旭輝;姜昕;;平面旋轉(zhuǎn)磁控濺射源的研究[J];真空;2008年04期

3 易泰民;邢丕峰;唐永建;張林;鄭鳳成;謝軍;李朝陽;楊蒙生;;磁控濺射制備金屬鈾膜[J];原子能科學(xué)技術(shù);2010年07期

4 凌世德,程維明;磁控濺射槍的設(shè)計(jì)與應(yīng)用[J];上海機(jī)械學(xué)院學(xué)報(bào);1986年03期

5 范玉殿,馬志龍,孫培芬,亢海霞,尤引娟;一種新型平面磁控濺射靶[J];真空科學(xué)與技術(shù);1987年01期

6 王貴義,王世忠,唐素筠;磁控濺射和它的應(yīng)用[J];核聚變與等離子體物理;1989年02期

7 劉聲雷;磁控濺射制備超導(dǎo)量子結(jié)[J];真空;1994年02期

8 黃士勇，，王德苗，曲風(fēng)欽，苗曄;大型旋轉(zhuǎn)圓柱形磁控濺射器[J];真空電子技術(shù);1998年04期

9 牟宗信,李國卿,車德良,黃開玉,柳翠;非平衡磁控濺射沉積系統(tǒng)伏安特性模型研究[J];物理學(xué)報(bào);2004年06期

10 張建民,王立,梁昌慧;磁控濺射靶源設(shè)計(jì)及濺射工藝研究[J];陜西師范大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);1999年01期

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1 梁愛鳳;楊化偉;王宇鋼;;磁控濺射與離子鍍技術(shù)在高分子核孔膜中的沉積形貌研究[A];2008年全國荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會議暨中國電工技術(shù)學(xué)會第十二屆電子束離子束學(xué)術(shù)年會、中國電子學(xué)會焊接專業(yè)委員會第九屆全國電子束焊接學(xué)術(shù)交流會、粒子加速器學(xué)會第十一屆全國離子源學(xué)術(shù)交流會、中國機(jī)械工程學(xué)會焊接分會2008年全國高能束加工技術(shù)研討會、北京電機(jī)工程學(xué)會第十屆粒子加速器學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2008年

2 楊種田;楊兵;周霖;劉傳勝;葉明生;付德君;;多弧-中頻磁控濺射沉積Ti-Si-N結(jié)構(gòu)與性能[A];2008年全國荷電粒子源、粒子束學(xué)術(shù)會議暨中國電工技術(shù)學(xué)會第十二屆電子束離子束學(xué)術(shù)年會、中國電子學(xué)會焊接專業(yè)委員會第九屆全國電子束焊接學(xué)術(shù)交流會、粒子加速器學(xué)會第十一屆全國離子源學(xué)術(shù)交流會、中國機(jī)械工程學(xué)會焊接分會2008年全國高能束加工技術(shù)研討會、北京電機(jī)工程學(xué)會第十屆粒子加速器學(xué)術(shù)交流會論文集[C];2008年

3 王軍生;童洪輝;趙嘉學(xué);韓大凱;戴彬;;影響磁控濺射均勻性的因素[A];第十三屆全國等離子體科學(xué)技術(shù)會議論文集[C];2007年

4 鄭華;劉實(shí);于洪波;王隆保;施力群;劉超卓;;磁控濺射方法制備含氦鈦膜及氦的熱解吸研究[A];第八屆全國核靶技術(shù)學(xué)術(shù)交流會論文摘要集[C];2004年

5 王成彪;于翔;劉陽;于德洋;呂建國;;三種中頻對靶磁控濺射類金剛石膜的性能比較[A];第六屆全國表面工程學(xué)術(shù)會議論文集[C];2006年

6 張龍;朱健;吳t

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