本文關(guān)鍵詞：基于紫外厚膠的探針加工工藝

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【摘要】：研究了一種基于紫外厚膠SU-8的亞毫米探針的加工工藝,通過溶液間的界面張力形成微球,再由深紫外光刻形成微柱。這種新技術(shù)利用紫外LIGA技術(shù)替代較為復雜昂貴的深反應離子刻蝕(DRIE)技術(shù),使用甘油補償紫外膠與空氣之間的折射率差,使紫外光透過微球后依然可以曝光厚達幾百微米SU-8膠形成微柱,并且提出原位放大接觸點的對準方法,實現(xiàn)了微球與微柱的同軸。最終實現(xiàn)高深寬比的探針結(jié)構(gòu),可以作為關(guān)鍵部件應用于三坐標測量機。由于此工藝與傳感器工藝相容,探針可以直接制作在集成了傳感器的測頭基底上,大幅減少了裝配誤差。
【作者單位】： 中北大學電子測試技術(shù)重點實驗室;中北大學儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(61401405,51475438) 山西省基礎研究資助項目(2014011021-4) 新世紀優(yōu)秀人才支持計劃資助項目(130951862)
【分類號】：TH721;TP212
【正文快照】： 0引言隨著精密機械、生物工程、化工領(lǐng)域和光電系統(tǒng)等方面日益向微小化、精密化方向發(fā)展,以微米加工、納米結(jié)構(gòu)和系統(tǒng)為目的的MEMS技術(shù)不斷發(fā)展,利用精密加工手段加工出的微納米結(jié)構(gòu),使得產(chǎn)品的導向趨于微小化。新型微納結(jié)構(gòu)不斷涌現(xiàn),各種零部件的設計、加工和裝配的精度也越

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

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本文編號：1257740