本文關(guān)鍵詞：時(shí)分復(fù)用數(shù)字閉環(huán)電容式微加速度計(jì)接口電路

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【摘要】：為實(shí)現(xiàn)電容式微加速度計(jì)的數(shù)字輸出閉環(huán),設(shè)計(jì)了一種數(shù)字輸出閉環(huán)ASIC(Application Specific Integrated Circuit)接口電路,以降低電路輸出噪聲并提高測(cè)量量程。對(duì)已有的電容式微加速度計(jì)ASIC電路進(jìn)行了改進(jìn),分時(shí)段在中間極板上加載差分電容讀出信號(hào)和由脈寬調(diào)變(PWM)波控制的反饋信號(hào),然后由控制器實(shí)現(xiàn)閉環(huán),利用Sigma Delta調(diào)制器實(shí)現(xiàn)模數(shù)轉(zhuǎn)換。通過(guò)分析差分電容讀出電路和Sigma Delta調(diào)制器的原理和特性,建立了該數(shù)字輸出閉環(huán)電容式微加速度計(jì)的模型,進(jìn)行了系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與仿真。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該數(shù)字輸出閉環(huán)電容式微加速度計(jì)的噪聲水平為9.6μg/√Hz,量程為±3g。這些結(jié)果驗(yàn)證了時(shí)分復(fù)用方案的可行性和本文所提出模型的正確性。
【作者單位】： 清華大學(xué)精密儀器系精密測(cè)試技術(shù)及儀器國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;清華大學(xué)微電子學(xué)研究所;
【基金】：十二五預(yù)研資助項(xiàng)目(No.20114113015)
【分類號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 1引言微加速度計(jì)是一種利用微機(jī)械加工工藝制造的慣性傳感器,因具備體積小、噪聲低、精度高等優(yōu)點(diǎn)被廣泛應(yīng)用于慣性導(dǎo)航、汽車安全、智能手機(jī)等領(lǐng)域[1]。電容式閉環(huán)微加速度計(jì)通過(guò)檢測(cè)敏感質(zhì)量塊的位移變化趨勢(shì)并施加靜電反饋力,保持動(dòng)極板在平衡位置,其施加的靜電力可反映輸

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1 賀玲,薛大同,雷軍剛,郝一龍,董海峰;隧道式硅微加速度計(jì)的設(shè)計(jì)和制作[J];傳感器技術(shù);2003年12期

2 劉宗林,李圣怡,吳學(xué)忠;新型三軸微加速度計(jì)設(shè)計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2004年03期

3 李圣怡,劉宗林,吳學(xué)忠;微加速度計(jì)研究的進(jìn)展[J];國(guó)防科技大學(xué)學(xué)報(bào);2004年06期

4 單光寶,阮曉明,姚軍,耿增建;懸臂梁式硅微加速度計(jì)的研制[J];電子元件與材料;2005年05期

5 俞必強(qiáng);翁海珊;李疆;;微加速度計(jì)粘附問(wèn)題的研究及應(yīng)用[J];傳感器與微系統(tǒng);2006年06期

6 潘武;張昱;;力平衡式三軸微加速度計(jì)的設(shè)計(jì)與分析[J];納米技術(shù)與精密工程;2006年02期

7 高健飛;熊繼軍;郭濤;范波;;微加速度計(jì)在沖擊環(huán)境下的可靠性研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2008年02期

8 王世濤;賈玉斌;張斌珍;黃欽文;郝一龍;;微加速度計(jì)沖擊可靠性及防護(hù)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2010年12期

9 代剛;李枚;杜連明;何曉平;蘇偉;邵貝貝;;微加速度計(jì)啟動(dòng)漂移特性研究與實(shí)驗(yàn)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2011年10期

10 周華,沈連官,尤輝,李川奇;電容式微加速度計(jì)結(jié)構(gòu)的建模及仿真[J];光學(xué)精密工程;1999年04期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 楊慧;郭航;;壓電式微加速度計(jì)的研究[A];第二屆全國(guó)壓電和聲波理論及器件技術(shù)研討會(huì)摘要集[C];2006年

2 邢朝洋;王巍;徐宇新;邱飛燕;徐杰;;宇航用硅微加速度計(jì)工程化研究[A];2010年慣性技術(shù) 發(fā)展動(dòng)態(tài) 發(fā)展方向研討會(huì)文集[C];2010年

3 何曉平;張德;文貴印;;“叉指”結(jié)構(gòu)微加速度計(jì)的系統(tǒng)設(shè)計(jì)[A];中國(guó)工程物理研究院科技年報(bào)（2002）[C];2002年

4 何勝;趙采凡;王巍;朱紅生;;“三明治式”硅微加速度計(jì)工程化研究[A];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)會(huì)第五屆學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2003年

5 李圣怡;劉宗林;吳學(xué)忠;;微加速度計(jì)的發(fā)展[A];全國(guó)生產(chǎn)工程第九屆年會(huì)暨第四屆青年科技工作者學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（二）[C];2004年

6 胡莉;李茜;;微加速度計(jì)[A];中國(guó)自動(dòng)化學(xué)會(huì)、中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)2004年西南三省一市自動(dòng)化與儀器儀表學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2004年

7 鮑海飛;陸德仁;;高量程微加速度計(jì)的沖擊標(biāo)定[A];第一屆長(zhǎng)三角地區(qū)傳感技術(shù)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2004年

8 黃書琴;郝永平;王世軍;;電容微加速度計(jì)結(jié)構(gòu)參數(shù)優(yōu)化設(shè)計(jì)[A];中國(guó)傳感器產(chǎn)業(yè)發(fā)展論壇暨東北MEMS研發(fā)聯(lián)合體研討會(huì)論文集[C];2004年

9 何曉平;;抗7400g沖擊的靜電伺服微加速度計(jì)[A];中國(guó)工程物理研究院科技年報(bào)（2000）[C];2000年

10 何勝;趙采凡;朱紅生;王巖;;硅微加速度計(jì)微敏感結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與研制[A];2001年飛行器慣性器件學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2001年

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1 劉曉e，

本文編號(hào)：1254287