本文關(guān)鍵詞：四極質(zhì)量分析器裝配工藝研究

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【摘要】：四極桿質(zhì)譜計是目前最成熟、應(yīng)用最廣泛的小型質(zhì)譜計之一。四極桿質(zhì)量分析器是四極式質(zhì)譜儀的核心部件,使離子在四極場中受到強(qiáng)聚焦作用而向分析器的中心軸聚焦。四極質(zhì)量分析器零件主要精度誤差都要求小于0.002mm,且組件平行度、位置度誤差要求均小于0.004mm,傳統(tǒng)裝配方法已經(jīng)很難滿足精度要求。提出了一種基于手工修研的裝配方法,利用該方法裝配了一套150型四極質(zhì)量分析器,最高裝配內(nèi)切圓精度誤差小于0.0015mm。
【作者單位】： 中國工程物理研究院機(jī)械制造工藝研究所超精密加工技術(shù)重點實驗室;
【基金】：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項資金資助(2011YQ130043)
【分類號】：TH843;TG95
【正文快照】： 1引言作為研究物質(zhì)基本組成、結(jié)構(gòu)特征、物理和化學(xué)性質(zhì)的最基本的儀器—質(zhì)譜儀,由于其直接測量的本質(zhì)和高靈敏、高分辨性,被廣泛應(yīng)用于環(huán)境監(jiān)測、食品安全、生命科學(xué)等多個領(lǐng)域[1-4]。四極桿質(zhì)譜計是目前最成熟、應(yīng)用最廣泛的小型質(zhì)譜計之一。在氣相色譜-質(zhì)譜(GC/MS)和液相色

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本文編號：1251640