本文關(guān)鍵詞：扭擺式高g值微機(jī)械加速度計(jì)的設(shè)計(jì)優(yōu)化與沖擊校準(zhǔn)

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【摘要】：設(shè)計(jì)實(shí)現(xiàn)了一種扭擺式高g值微機(jī)械加速度計(jì)。微結(jié)構(gòu)采用十字形扭梁減小橫向效應(yīng),擺片兩側(cè)使用梳齒結(jié)構(gòu)作為止檔和阻尼器,6個(gè)敏感單元并聯(lián)的方式提高基礎(chǔ)電容量。有限元仿真得到表頭諧振頻率約為56 k Hz,前兩階模態(tài)分離比大于4,高過載能力10萬(wàn)g,微結(jié)構(gòu)靈敏度為8.94E-6p F/g,基于玻璃-硅(Silicon On Glass,SOG)工藝流片后單側(cè)基礎(chǔ)電容約為3.6 p F。分析了環(huán)形二極管電容檢測(cè)電路的檢測(cè)帶寬問題,并設(shè)計(jì)了高g值加速度計(jì)的檢測(cè)電路。搭建了霍普金森桿實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)進(jìn)行高g值的沖擊校準(zhǔn),2萬(wàn)g范圍內(nèi)非線性度2%,5 V供電下標(biāo)度因數(shù)約為24.5μV/g。
【作者單位】： 清華大學(xué)精密儀器系;
【基金】：國(guó)家十二五預(yù)研基金資助項(xiàng)目(51309020301)
【分類號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 目前微機(jī)械加速度計(jì)的一種重要應(yīng)用需求是高g值測(cè)量,獲取高沖擊過程中的加速度,用于沖擊過載實(shí)驗(yàn)和某些特殊的軍事應(yīng)用場(chǎng)合。例如侵徹鉆地武器的彈藥在侵徹硬質(zhì)界面的過程中,需要測(cè)量幾萬(wàn)乃至十幾萬(wàn)g的加速度[1-3]。高g值加速度計(jì)是侵徹過程慣性測(cè)試與控制的關(guān)鍵技術(shù)之一,研究

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 張霞;;微機(jī)械加速度計(jì)的研究現(xiàn)狀綜述[J];功能材料與器件學(xué)報(bào);2013年06期

2 陶永康;劉云峰;董景新;;電容式高過載微機(jī)械加速度計(jì)的設(shè)計(jì)與實(shí)驗(yàn)[J];光學(xué)精密工程;2014年04期

3 陳宇曉,文貴印,劉昌孝;電容式微機(jī)械加速度計(jì)系統(tǒng)動(dòng)態(tài)特性研究[J];電子科技大學(xué)學(xué)報(bào);2002年05期

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5 傅德生,蘇偉,彭勃;電容式微機(jī)械加速度計(jì)部分力學(xué)特性的分析[J];安徽工程科技學(xué)院學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2003年04期

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本文編號(hào)：1222270