本文關鍵詞：扭擺式高g值微機械加速度計的設計優(yōu)化與沖擊校準

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【摘要】：設計實現(xiàn)了一種扭擺式高g值微機械加速度計。微結構采用十字形扭梁減小橫向效應,擺片兩側使用梳齒結構作為止檔和阻尼器,6個敏感單元并聯(lián)的方式提高基礎電容量。有限元仿真得到表頭諧振頻率約為56 k Hz,前兩階模態(tài)分離比大于4,高過載能力10萬g,微結構靈敏度為8.94E-6p F/g,基于玻璃-硅(Silicon On Glass,SOG)工藝流片后單側基礎電容約為3.6 p F。分析了環(huán)形二極管電容檢測電路的檢測帶寬問題,并設計了高g值加速度計的檢測電路。搭建了霍普金森桿實驗系統(tǒng)進行高g值的沖擊校準,2萬g范圍內非線性度2%,5 V供電下標度因數(shù)約為24.5μV/g。
【作者單位】： 清華大學精密儀器系;
【基金】：國家十二五預研基金資助項目(51309020301)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 目前微機械加速度計的一種重要應用需求是高g值測量,獲取高沖擊過程中的加速度,用于沖擊過載實驗和某些特殊的軍事應用場合。例如侵徹鉆地武器的彈藥在侵徹硬質界面的過程中,需要測量幾萬乃至十幾萬g的加速度[1-3]。高g值加速度計是侵徹過程慣性測試與控制的關鍵技術之一,研究

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

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本文編號：1222270