本文關(guān)鍵詞：硅微靜電懸浮加速度計實驗研究

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【摘要】：硅微靜電加速度計將靜電懸浮技術(shù)與微機械加工工藝相結(jié)合,在空間微重力環(huán)境下通過降低量程可實現(xiàn)極高的分辨率。設(shè)計了一種玻璃—硅—玻璃三明治結(jié)構(gòu)、平行六面體狀檢測質(zhì)量、體硅加工工藝、低量程的三軸硅微靜電加速度計,分析了加速度計的力平衡回路特性。采用基于DSP的數(shù)字控制器,實現(xiàn)了檢測質(zhì)量的六自由度穩(wěn)定懸浮。在大氣環(huán)境下測試了靜電加速度計的性能。測試結(jié)果表明:加速度計x軸的帶寬為88.1 Hz,量程為0.220 g n;y軸的帶寬為118.2 Hz,量程為0.313 g n;z軸的帶寬為10.7 Hz,量程為3.53 g n。
【作者單位】： 清華大學(xué)精密儀器系;北京航天控制儀器研究所;
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(41074049) 航空科學(xué)基金資助項目(20100858005)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 0引言靜電加速度計在空間微重力環(huán)境中可充分發(fā)揮其高分辨率、低量程的優(yōu)勢,可用于衛(wèi)星非保守力和空間飛行器振動的測量,也可用于驗證廣義相對論的等效原理[1]。傳統(tǒng)靜電加速度計采用精密機械加工手段制造,工藝復(fù)雜,體積大,功耗高,造價昂貴,不適宜在微小型航天器上應(yīng)用。與傳

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 李樹德;空間靜電加速度計研究之進展[J];大地測量與地球動力學(xué);2005年02期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 段光武;韓豐田;付真斌;;六軸硅微靜電加速度計的懸浮回路設(shè)計[J];中國慣性技術(shù)學(xué)報;2010年02期

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 秦愿;六軸靜電懸浮微加速度計的控制系統(tǒng)研究[D];上海交通大學(xué);2011年

2 王強;高精度加速度計空間引力標定方案研究[D];華中科技大學(xué);2006年

3 劉攀龍;石英撓性加速度計的標定與溫度補償研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2008年

4 劉景坡;框體零件內(nèi)表面的形位誤差檢測與加工技術(shù)研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2009年

5 胡國新;新型傾斜儀機械結(jié)構(gòu)研究及其誤差分析[D];中國地震局地震研究所;2012年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 寧津生;衛(wèi)星重力探測技術(shù)與地球重力場研究[J];大地測量與地球動力學(xué);2002年01期

2 孫文科;低軌道人造衛(wèi)星(CHAMP、GRACE、GOCE)與高精度地球重力場——衛(wèi)星重力大地測量的最新發(fā)展及其對地球科學(xué)的重大影響[J];大地測量與地球動力學(xué);2002年01期

3 周義炎,吳云,喬學(xué)軍,張訓(xùn)械;GPS掩星技術(shù)和電離層反演[J];大地測量與地球動力學(xué);2005年02期

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 任杰;樊尚春;王路達;;諧振式微機械加速度計設(shè)計的關(guān)鍵技術(shù)[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2008年04期

2 鄭旭東;曹學(xué)成;鄭陽明;羅斯建;王躍林;金仲和;;一種電容式微機械加速度計的設(shè)計[J];傳感技術(shù)學(xué)報;2008年02期

3 高志宏;唐一科;周傳德;;用零相位的方法檢測微加速度計的諧振頻率[J];機械制造;2009年09期

4 胡m，

本文編號：1210524