本文關(guān)鍵詞：光刻投影物鏡中X-Y向柔性調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)設(shè)計

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【摘要】：X-Y向柔性調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)應(yīng)用于光刻投影物鏡中光學(xué)元件X-Y方向偏心位置補(bǔ)償�；谌嵝糟q鏈,設(shè)計柔性二級減速機(jī)構(gòu),并將之應(yīng)用到新型的一體式X-Y向柔性調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)上。在對機(jī)構(gòu)原理進(jìn)行分析的基礎(chǔ)上,對X-Y向柔性調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)參數(shù)進(jìn)行了優(yōu)化設(shè)計。進(jìn)一步,運用有限元分析法,分析了該X-Y向柔性調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的性能。分析結(jié)果表明,該機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)行程大于±20μm,機(jī)構(gòu)位移輸入?輸出關(guān)系穩(wěn)定,傳動比約11.9,理論調(diào)節(jié)精度約8.4 nm,機(jī)構(gòu)單方向驅(qū)動剛度為0.473μm/N;機(jī)構(gòu)開環(huán)單軸運動時,耦合誤差與主運動比值為7.1%;機(jī)構(gòu)1階模態(tài)頻率大于200 Hz。該X-Y向柔性調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)能夠應(yīng)用到光刻投影物鏡中。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室;
【基金】：國家重大科技專項02專項資助課題(2009ZX02005)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言隨著集成電路規(guī)模的不斷擴(kuò)大,集成電路線寬越來越小,因此對光刻投影物鏡光學(xué)精度及機(jī)械精度的要求越來越苛刻[1-2]。為了更好地補(bǔ)償光刻投影物鏡的各成像指標(biāo)[3-4],系統(tǒng)中某些光學(xué)元件需要進(jìn)行X-Y向精密調(diào)節(jié)。一般要求X-Y向調(diào)節(jié)量為數(shù)十微米,調(diào)節(jié)精度達(dá)到數(shù)十納米級。傳

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本文編號：1202029