本文關(guān)鍵詞：MEMS微加速度計在振動環(huán)境下的可靠性研究

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【摘要】：由于微加速度計的可靠性成為其產(chǎn)品商業(yè)化過程中的一個重要問題,而沖擊斷裂是導致其性能失效的主要原因。主要研究了壓阻式微加速度計在振動環(huán)境下的可靠性問題。設(shè)計了微加速度計在振動環(huán)境下的可靠性試驗并通過ANSYS進行仿真。經(jīng)過分析得出微加速度計在振動環(huán)境下的主要失效模式,并進行了相應(yīng)的失效機理分析。通過可靠性實驗進行了驗證,對微加速度計在振動環(huán)境下的可靠性進行評估,并描繪了其可靠度與失效概率曲線。
【作者單位】： 中北大學電子測試技術(shù)國家重點實驗室;中北大學儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室;中北大學計算機與控制工程學院;
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 微機電系統(tǒng)在近十年多來取得了飛速的發(fā)展。當前對于MEMS器件的設(shè)計和制作的工作已經(jīng)取得了很多進展,但是就整體而言,MEMS產(chǎn)品的商品化尚未實現(xiàn)[1-2]。各種情況下失效問題是MEMS商品化的一大障礙。微加速度計可靠性問題已經(jīng)成為阻礙它在武器系統(tǒng)中廣泛應(yīng)用的首要因素。微加速

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本文編號：1196616