本文關(guān)鍵詞：橫向壓電效應(yīng)變形鏡優(yōu)化設(shè)計

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【摘要】：變形鏡作為自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中的關(guān)鍵部件,起到校正波前誤差的作用。其中橫向壓電效應(yīng)變形鏡應(yīng)用較為廣泛,其設(shè)計參數(shù)對系統(tǒng)的性能有重要影響,因此需要進(jìn)行優(yōu)化設(shè)計。仿真表明,減小Si鏡和PZT的厚度可以提高系統(tǒng)最大變形量,但會降低一階固有頻率。通過正交匹配兩者的厚度參數(shù)可滿足系統(tǒng)的工作要求。夾具的材料和結(jié)構(gòu)參數(shù)會影響系統(tǒng)的熱變形特性。使用與鏡片材料相同的夾具,系統(tǒng)的熱變形最小,對高度和壁厚進(jìn)行優(yōu)化可以減小甚至消除系統(tǒng)的熱變形。最后,通過電壓特性仿真得到了優(yōu)化后變形鏡各分立電極的影響函數(shù)。
【作者單位】： 國防科學(xué)技術(shù)大學(xué)機電工程與自動化學(xué)院;超精密加工技術(shù)湖南省重點實驗室;
【基金】：新世紀(jì)優(yōu)秀人才資助計劃(NCET-12-0144)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)廣泛應(yīng)用于檢測和校正大氣擾動等因素帶來的光學(xué)成像誤差[1]。變形鏡(DM)作為一種典型的波前校正器,在自適應(yīng)光學(xué)系統(tǒng)中起到校正波前誤差的作用[2]。目前,變形鏡按驅(qū)動方式可分為以下幾類:基于縱向壓電效應(yīng)的傳統(tǒng)壓電變形鏡、基于微機電系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)構(gòu)造

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