本文關(guān)鍵詞：跨尺度二維工作臺(tái)系統(tǒng)研制

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【摘要】：為實(shí)現(xiàn)大行程、納米分辨力的定位目標(biāo),研制了跨尺度二維工作臺(tái)系統(tǒng)。采用大行程宏動(dòng)臺(tái)和六自由度微動(dòng)臺(tái)組合的方式,搭建了宏/微雙驅(qū)動(dòng)高精度二維工作臺(tái)系統(tǒng)。該系統(tǒng)利用機(jī)器視覺技術(shù),采用圖像處理方法確定系統(tǒng)中各個(gè)零件的位置和方向,宏動(dòng)臺(tái)高速移動(dòng)實(shí)現(xiàn)粗定位,通過微動(dòng)臺(tái)與宏動(dòng)臺(tái)的循環(huán)配合工作,最終實(shí)現(xiàn)二維工作臺(tái)系統(tǒng)的納米級(jí)定位精度。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,200mm×200mm二維工作臺(tái)的定位精度在0.6μm左右,該工作臺(tái)系統(tǒng)具備了大行程、定位時(shí)間快、智能化等優(yōu)點(diǎn)。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué);
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(51175141)
【分類號(hào)】：TH703
【正文快照】： 1引言大行程工作臺(tái)的定位精度一般局限在微米級(jí),而以壓電陶瓷微驅(qū)動(dòng)器為代表的微動(dòng)工作臺(tái),其定位精度能夠達(dá)到納米級(jí),但行程通常只能達(dá)到幾十微米。對(duì)于微操作任務(wù)來說,在關(guān)注高精度、納米級(jí)定位的同時(shí),還要兼顧微米級(jí)的大范圍宏動(dòng)定位。為解決宏觀與微觀的矛盾,國(guó)內(nèi)外學(xué)者相

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本文編號(hào)：1191801