本文關(guān)鍵詞：三坐標(biāo)測量曲率半徑誤差評價的新方法研究

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【摘要】：曲率半徑檢測是光學(xué)加工工藝流程中最基本的檢測內(nèi)容之一,為了克服傳統(tǒng)三坐標(biāo)測量曲率半徑的測量策略測量誤差無法定量評估的問題,將病態(tài)矩陣理論與三坐標(biāo)檢測曲率半徑算法相結(jié)合,提出了基于IC值的三坐標(biāo)檢測曲率半徑測量策略誤差評估新方法。首先分析了三坐標(biāo)測量曲率半徑的測量模型以及誤差產(chǎn)生原因,然后利用病態(tài)矩陣理論評價該測量模型的病態(tài)程度,在此基礎(chǔ)上提出了一種評價三坐標(biāo)測量模型病態(tài)程度的判據(jù)算法,并且進行了相關(guān)算法的驗證。在仿真及實驗均驗證其準(zhǔn)確性和有效性的基礎(chǔ)上,利用該方法對三坐標(biāo)檢測曲率半徑的三環(huán)法進行測量策略優(yōu)化。結(jié)果表明:常規(guī)測量將中環(huán)放在上下環(huán)中間位置的做法是測量誤差最大的一種方法,中環(huán)的位置越靠近球冠頂點,其測量結(jié)果的精度越高。分析結(jié)果對制定光學(xué)元件曲率半徑測量的測量策略具有一定的指導(dǎo)意義。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室超精密光學(xué)工程研究中心;
【基金】：國家科技重大專項(2009ZX02205)項目
【分類號】：TH706
【正文快照】： 1引言光學(xué)元件制造過程中,檢測水平的精度直接決定其制造水平的高低,尤其是對于高精度光學(xué)元件制造,光學(xué)檢測水平更是對光學(xué)元件的加工效率及質(zhì)量控制起至關(guān)重要的作用。光學(xué)檢測參數(shù)中,光學(xué)元件的曲率半徑檢測及評定是最基本也是最重要的檢測內(nèi)容之一。由于光學(xué)元件在銑磨階

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 王文書;;三坐標(biāo)測量機對大半徑短圓弧的測量實踐[J];上海計量測試;2010年04期

2 王道檔;鄒慧;郭天太;王曉曉;劉維;;基于自校正的三坐標(biāo)機二維平臺誤差測量技術(shù)[J];儀器儀表學(xué)報;2013年11期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 彭利榮;王東方;馬占龍;谷勇強;王飛;王高文;張春雷;;三坐標(biāo)檢測光學(xué)元件曲率半徑的誤差分析[J];電子測量與儀器學(xué)報;2014年11期

2 郭天太;王曉曉;洪博;孔明;施玉書;;用于影像儀測量誤差分離的自校準(zhǔn)技術(shù)[J];光學(xué)精密工程;2015年01期

3 胡躍輝;劉志民;呂國強;李小哲;于芳芳;丁小宇;;一種觸摸坐標(biāo)計算方法[J];電子測量與儀器學(xué)報;2015年03期

4 邵偉國;王霄;;非接觸式三坐標(biāo)測量短圓弧方法研究[J];測控技術(shù);2013年06期

5 楊慶;李勇;莫貴疆;謝福兵;;預(yù)置理論圓心坐標(biāo)法精密測量短圓弧零部件[J];機械管理開發(fā);2014年06期

6 孫鵬飛;張求知;李文強;王鵬;孫長庫;;單目多角度空間點坐標(biāo)測量方法[J];儀器儀表學(xué)報;2014年12期

7 杜柳青;殷國富;余永維;;基于混沌相空間重構(gòu)的數(shù)控機床運動精度演化分析[J];儀器儀表學(xué)報;2015年08期

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 朱煜,朱立偉,尹文生,段廣洪;IC加工及檢測裝備超精密工作臺自標(biāo)定技術(shù)研究[J];電子工業(yè)專用設(shè)備;2005年03期

2 夏瑞雪;陳曉懷;盧榮勝;俞慶平;;新型納米三坐標(biāo)測量機誤差檢定方法的研究[J];電子測量與儀器學(xué)報;2010年03期

3 王晨晨;費業(yè)泰;尚平;;懸臂式坐標(biāo)測量機誤差分離與補償?shù)难芯縖J];電子測量與儀器學(xué)報;2012年05期

4 崔繼文;劉雪明;譚久彬;;超精密級二維工作臺的自標(biāo)定[J];光學(xué)精密工程;2012年09期

5 蔡萍;微納米檢測技術(shù)的研究進展[J];上海計量測試;2002年06期

6 王東升,李書和,張國雄;三坐標(biāo)測量機誤差測量的新方法[J];天津大學(xué)學(xué)報;1999年04期

7 祝連慶;陳青山;董明利;張舒;;基于雙頻激光干涉的坐標(biāo)測量機測量不確定度檢定系統(tǒng)[J];儀器儀表學(xué)報;2006年S1期

8 楊洪濤;劉勇;費業(yè)泰;陳曉懷;;三坐標(biāo)測量機動態(tài)誤差混合建模方法[J];儀器儀表學(xué)報;2010年08期

9 位恒政;王為農(nóng);裴麗梅;鄭慶國;;基于步距規(guī)的坐標(biāo)測量機的誤差補償方法[J];儀器儀表學(xué)報;2010年10期

10 郭俊杰,張琳,皮彪;坐標(biāo)測量機的空間誤差檢測及21項幾何誤差分離的方法[J];中國機械工程;2002年13期

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張宏遠;彈性壓力件曲率半徑的確定[J];機械設(shè)計;1984年02期

2 M.V.R.K默逖;R.P.舒克拉;孫桂林;;長曲率半徑的測量[J];西安工業(yè)大學(xué)學(xué)報;1985年01期

3 劉介群;;缺頂球形零件曲率半徑的測量[J];機械工人.冷加工;1988年02期

4 徐鶴齡;;拉奇爾W的一個應(yīng)用[J];唐山鐵道學(xué)院學(xué)報;1965年02期

5 王金炎;;路面曲率半徑儀[J];南京工學(xué)院學(xué)報;1980年04期

6 吳純林;;巧測小于半圓圓弧的曲率半徑[J];機械工人.冷加工;1982年08期

7 周學(xué)海;;光學(xué)球面曲率半徑的測量[J];光學(xué)機械;1984年06期

8 沈慧俐;林超強;紀名剛;孫家永;;喉道具有小曲率半徑的噴管跨音流動有限元分析[J];西北工業(yè)大學(xué)學(xué)報;1984年01期

9 劉中本;;光學(xué)表面長曲率半徑的測定[J];應(yīng)用光學(xué);1985年02期

10 顧寶華;透鏡加工中粗磨曲率半徑的確定[J];光學(xué)技術(shù);1988年04期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 李文婷;楊朋利;崔瑩;;基于平板橫向剪切干涉的球面曲率半徑測量[A];2012年西部光子學(xué)學(xué)術(shù)會議論文摘要集[C];2012年

2 劉軍漢;羅勁峰;張泉;周楊;;大曲率半徑光學(xué)元件檢測技術(shù)研究[A];中國光學(xué)學(xué)會2010年光學(xué)大會論文集[C];2010年

3 楊甬英;卓永模;;大曲率半徑的非接觸數(shù)字化測量系統(tǒng)的研究[A];第九屆全國光學(xué)測試學(xué)術(shù)討論會論文（摘要集）[C];2001年

4 劉燕文;田宏;張明晨;李玉濤;鄒濤;劉勝英;董芳;張洪來;;利用光學(xué)方法測量陰極表面曲率半徑的研究[A];2004全國光學(xué)與光電子學(xué)學(xué)術(shù)研討會、2005全國光學(xué)與光電子學(xué)學(xué)術(shù)研討會、廣西光學(xué)學(xué)會成立20周年年會論文集[C];2005年

5 劉燕文;田宏;張明晨;李玉濤;鄒濤;劉勝英;董芳;張洪來;;用于真空微波器件的熱陰極曲率半徑測試研究[A];第八屆真空技術(shù)應(yīng)用學(xué)術(shù)年會論文集[C];2005年

6 高玫;滕霖;張亮;;一種小口徑大曲率半徑球面鏡的測量方法[A];2010年西部光子學(xué)學(xué)術(shù)會議摘要集[C];2010年

7 傅小鎖;;曲率,還是曲率半徑?——對生理學(xué)教材的一點疑問[A];中國生理學(xué)會論文匯編2005年第三期[C];2005年

8 蔣云鵬;;線纜曲率半徑保護模塊的設(shè)計[A];中國通信學(xué)會2007年光纜電纜學(xué)術(shù)年會論文集[C];2007年

9 邵曉利;季小玲;;湍流對部分相干厄米-高斯列陣光束等效曲率半徑的影響[A];中國光學(xué)學(xué)會2011年學(xué)術(shù)大會摘要集[C];2011年

10 韓杏子;胡新奇;俞信;;分塊式三反系統(tǒng)面形誤差和曲率半徑不一致性誤差的變形鏡校正方法研究[A];中國光學(xué)學(xué)會2010年光學(xué)大會論文集[C];2010年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 武雪梅;提高教育公平的“曲率半徑”[N];新華每日電訊;2013年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 毛潔;高精度曲率半徑干涉測量技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（光電技術(shù)研究所）;2015年

2 徐永祥;顯微干涉術(shù)在測量微小表面幾何參數(shù)中的關(guān)鍵技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2007年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 李莉莉;汽車后視鏡曲率半徑測控系統(tǒng)的設(shè)計與實現(xiàn)[D];武漢理工大學(xué);2014年

2 程國東;AFM探針針尖半徑變化影響納米尺度表面檢測的研究[D];昆明理工大學(xué);2015年

3 王文龍;混凝土箱梁橋抗傾覆性能與增強措施研究[D];重慶交通大學(xué);2015年

4 智佩;基于體散斑相位恢復(fù)的曲率半徑測量技術(shù)研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2012年

5 陳莉;球面曲率半徑的單頻激光干涉測量研究[D];南京理工大學(xué);2005年

6 田繼偉;高精度激光差動共焦大曲率半徑測量關(guān)鍵技術(shù)研究[D];北京理工大學(xué);2015年

7 蔣鴻偉;激光差動共焦曲率半徑高精度自動測量方法研究[D];北京理工大學(xué);2015年

8 邵曉利;激光束通過大氣湍流傳輸?shù)牡刃拾霃教匦匝芯縖D];四川師范大學(xué);2012年

9 王中林;基于白光等厚干涉原理的光學(xué)球面曲率半徑自動測量系統(tǒng)研究[D];華中師范大學(xué);2006年

10 徐鵬;光柵尺測長式激光差動共焦曲率半徑測量系統(tǒng)[D];北京理工大學(xué);2015年

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