本文關(guān)鍵詞：閉環(huán)硅微加速度計(jì)非線性補(bǔ)償（英文）

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【摘要】：為了降低閉環(huán)硅微加速度計(jì)的非線性,分析了其主要誤差源并提出了相應(yīng)的補(bǔ)償方法。首先,分析了閉環(huán)狀態(tài)下檢測(cè)質(zhì)量塊偏離幾何中心位置所造成的非線性問(wèn)題,并確定了電路零位是主要誤差源;其次,利用閉環(huán)反饋控制進(jìn)行了非線性的優(yōu)化分析;最后,提出了非線性補(bǔ)償?shù)墓こ陶{(diào)試方法。離心試驗(yàn)結(jié)果表明,采用該調(diào)試方法可將加速度計(jì)的非線性減小一個(gè)數(shù)量級(jí)以上。該結(jié)果驗(yàn)證了非線性誤差分析和補(bǔ)償方法的有效性,且適用于同批次加工的其它加速度計(jì)。
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)自動(dòng)化學(xué)院;西安飛行自動(dòng)控制研究所;
【基金】：國(guó)際合作項(xiàng)目——高精度微機(jī)電系統(tǒng)制造技術(shù)合作研究(2011DFA72370)
【分類(lèi)號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： The nonlinearity of MEMS closed-loop accelero-micro-machined sensing element is depicted in Fig.1.Itmeter degrades its high performance for navigation gradeconsists of two fixed outer electrodes,each of them hasapplication[1-4].For capacitive acceleromet

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前9條

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中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 王玉田;王威;張海鋒;陳蕾蕾;;基于神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)的熱敏電阻非線性補(bǔ)償?shù)难芯縖A];2007'中國(guó)儀器儀表與測(cè)控技術(shù)交流大會(huì)論文集（二）[C];2007年

本文編號(hào)：1172132