本文關(guān)鍵詞：提高石英音叉鎢絲探針制作成材率

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【摘要】：針對(duì)探針的腐蝕及粘接制約原子力顯微鏡實(shí)驗(yàn)開(kāi)展的問(wèn)題,提出一種制作原子力顯微鏡石英音叉鎢絲探針的方法。通過(guò)對(duì)原有腐蝕裝置的改進(jìn),提高了鎢絲針尖的成材率;鎢絲探針粘接裝置的開(kāi)發(fā)極大地避免了人為因素的干擾,提高了針尖粘接的效率。最后通過(guò)實(shí)驗(yàn)來(lái)驗(yàn)證腐蝕方法及粘接裝置的可行性。
【作者單位】： 北京航空航天大學(xué)物理科學(xué)與核能工程學(xué)院微納測(cè)控與低維物理教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(61371008) 北京市自然科學(xué)基金項(xiàng)目(4132038) 北京航空航天大學(xué)重大教學(xué)改革項(xiàng)目(2013)資助
【分類號(hào)】：TH742
【正文快照】： 1986年,G.Binning等[1]人在掃描隧道顯微鏡(STM)的基礎(chǔ)上發(fā)明了原子力顯微鏡(AFM),如今AFM已經(jīng)應(yīng)用于微電子技術(shù)、基因工程、材料工程等各個(gè)領(lǐng)域[2]。1937年Müller[3]將腐蝕好的鎢絲探針成功運(yùn)用于場(chǎng)發(fā)射顯微鏡中,在后來(lái)的70多年中,采用電化學(xué)腐蝕多晶體線制備AFM探針的方法

【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1170497