本文關(guān)鍵詞：可用于光刻自動聚焦的高靈敏度流量計式位移檢測系統(tǒng)

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【摘要】：為解決傳統(tǒng)光學(xué)檢測方法存在的對已刻(干刻)區(qū)域無法檢測、潛在曝光可能性、系統(tǒng)光路復(fù)雜以及靈敏度較低等缺點,提出了一種可用于激光直寫光刻自動聚焦的高靈敏度流量計式位移檢測系統(tǒng)。詳細介紹了系統(tǒng)的原理、系統(tǒng)設(shè)計、實驗方法以及誤差分析等。根據(jù)流量傳感器檢測得到的氣流變化,可以判斷光刻系統(tǒng)中聚焦系統(tǒng)是否離焦以及離焦量的大小。再將此氣流變化量轉(zhuǎn)化為電壓值反饋至壓電陶瓷(PZT)執(zhí)行機構(gòu),通過執(zhí)行機構(gòu)實現(xiàn)自動聚焦。由于噴嘴擋板系統(tǒng)可以建立噴嘴擋板間距與噴嘴內(nèi)部壓力的關(guān)系,而流量敏感度要高于壓力敏感度,故采用了熱線探針來檢測系統(tǒng)流量變化。實驗證明,該方法能夠準(zhǔn)確檢測系統(tǒng)離焦量,系統(tǒng)測量精度可達100nm,頻率響應(yīng)可達20Hz,量程可達20μm。而且在一定范圍內(nèi)噴嘴擋板間距與空氣流量變化具有非常好的線性關(guān)系。
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機械研究所;國家納米科學(xué)中心;
【分類號】：TH814;TP274
【正文快照】： 1引言激光是一種高質(zhì)量的光源,具有高亮度、相干性好、準(zhǔn)直性好、單色性好等特點。激光加工是指將激光束作用于物體的表面從而引起物體形狀或性質(zhì)發(fā)0808003-1生改變的加工過程,其實質(zhì)是激光將能量傳遞給被加工材料,使被加工材料發(fā)生物理或化學(xué)變化,從而達到加工的目的。激光加

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