本文關(guān)鍵詞：光柵光譜儀光路結(jié)構(gòu)的設(shè)計

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【摘要】：為提高光柵光譜儀的波長掃描精度,設(shè)計了一套可對光柵轉(zhuǎn)動情況進(jìn)行實時反饋的系統(tǒng)結(jié)構(gòu),實現(xiàn)了儀器在高速和高精度掃描上的統(tǒng)一。在對反饋結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計時,應(yīng)用光柵尺測位移技術(shù)對正弦絲桿上的滑塊進(jìn)行位移反饋,由計算機(jī)對其進(jìn)行接收和處理。對比實驗顯示,儀器本身波長掃描精度為0.7nm,加入反饋電路進(jìn)行反饋后波長掃描精度可達(dá)0.15nm。結(jié)果表明,加入對光柵轉(zhuǎn)動情況的反饋結(jié)構(gòu)后,可使光柵光譜儀滿足高精度掃描要求。
【作者單位】： 燕山大學(xué)河北省測試計量技術(shù)及儀器重點實驗室;華北理工大學(xué)電氣工程學(xué)院;
【分類號】：TH744.1
【正文快照】： 引言掃描式光柵光譜儀通常采用步進(jìn)電機(jī)加絲桿的正弦掃描結(jié)構(gòu),通過控制步進(jìn)電機(jī)的驅(qū)動電路細(xì)分電機(jī)的每一相電流,提高波長掃描精度,但步進(jìn)電機(jī)在高細(xì)分狀態(tài)下的運行狀態(tài)不穩(wěn)定,導(dǎo)致光柵光譜儀波長掃描精度不高[1-3],僅為0.7nm,為提高對衍射波長的掃描精度,加入一套可對光柵轉(zhuǎn)

【參考文獻(xiàn)】

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1 黃晉卿;黃梅珍;王龍;施Z赯，

本文編號：1163744