本文關(guān)鍵詞：精密光學(xué)系統(tǒng)的熱像差

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【摘要】：為了精確控制與補(bǔ)償物鏡的熱像差,設(shè)計(jì)了一套三鏡實(shí)驗(yàn)光學(xué)系統(tǒng),基于該系統(tǒng)驗(yàn)證了熱像差計(jì)算方法的準(zhǔn)確性。介紹了熱像差分析方法及驗(yàn)證實(shí)驗(yàn)方案。開(kāi)展不同熱載工況下熱像差測(cè)試實(shí)驗(yàn),并與仿真結(jié)果進(jìn)行了對(duì)比。最后,綜合實(shí)驗(yàn)與仿真結(jié)果,分析了特定熱載條件下系統(tǒng)熱像差中非軸對(duì)稱像差成分以及系統(tǒng)最佳焦面的變化趨勢(shì),獲得了熱像差的瞬態(tài)特性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果顯示:在輸入熱載大小之比為1∶4∶9的情況下,實(shí)驗(yàn)和仿真獲得的熱像差均方根(RMS)值之比分別為1∶3.75∶9和1∶4.01∶9.01,光學(xué)系統(tǒng)所加熱載和熱像差之間呈線性關(guān)系;在實(shí)驗(yàn)熱載荷作用下,系統(tǒng)最佳焦面的穩(wěn)態(tài)時(shí)間小于450min,而熱像差中一階像散(標(biāo)準(zhǔn)Zernike Z4)的穩(wěn)態(tài)時(shí)間小于48min,一階四葉(標(biāo)準(zhǔn)Zernike Z11)的穩(wěn)態(tài)時(shí)間小于9min,最佳焦面穩(wěn)態(tài)時(shí)間遠(yuǎn)大于非軸對(duì)稱成分的穩(wěn)態(tài)時(shí)間�；谠撊R實(shí)驗(yàn)光學(xué)系統(tǒng)所獲得的熱像差特性能夠?yàn)橥队肮饪涛镧R或其它精密光學(xué)系統(tǒng)的熱像差控制與補(bǔ)償提供有力支撐。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家科技重大專項(xiàng)資助項(xiàng)目(No.2009ZX02205)
【分類(lèi)號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1引言精密光學(xué)系統(tǒng)如投影光刻物鏡對(duì)成像質(zhì)量的要求極為嚴(yán)格,除了保證加工制造以及集成過(guò)程中的公差外,工作過(guò)程中還要克服振動(dòng)、外部環(huán)境變化、透鏡材料對(duì)曝光能量吸收等引起的像質(zhì)劣化。目前,遵循摩爾定律的發(fā)展趨勢(shì),投影光刻物鏡的分辨率及產(chǎn)量不斷提升。除了縮短曝光波長(zhǎng)

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