本文關(guān)鍵詞：非球面非零位環(huán)形子孔徑拼接干涉檢測技術(shù)

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【摘要】：提出了一種新型的非零位環(huán)形子孔徑拼接干涉檢測技術(shù)(NASSI)用以檢測深度非球面面形誤差。該方法結(jié)合了傳統(tǒng)非零位干涉檢測法與環(huán)形子孔徑拼接法,采用部分零位鏡替代了標(biāo)準(zhǔn)環(huán)形子孔徑拼接干涉儀中的透射球面鏡,產(chǎn)生非球面波前用以匹配被測面不同子孔徑區(qū)域。該非球面波前比球面波前更加接近被測面的名義面形,使所需的子孔徑數(shù)目大大減少。一方面增大了環(huán)帶寬度和重疊區(qū),提高了拼接精度;另一方面減少了各種誤差累積次數(shù)。同時(shí),配合基于系統(tǒng)建模的理論波前方法分別校正各個子孔徑的回程誤差,進(jìn)一步提高了檢測精度。對非球面度為25μm的高次非球面的計(jì)算機(jī)仿真檢測結(jié)果表明該方法具有很高的理論精度。針對口徑101mm的拋物面進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)檢測,多次實(shí)驗(yàn)結(jié)果均與ZygoR○VerifireTMAsphere干涉儀檢測結(jié)果一致,峰谷(PV)值誤差優(yōu)于λ/20,均方根(RMS)值誤差優(yōu)于λ/100,表明了NASSI方法的高精度與高重復(fù)性。
【作者單位】： 浙江大學(xué)光電系現(xiàn)代光學(xué)儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國家自然科學(xué)基金(11275172) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)資金(2013QNA5006) 現(xiàn)代光學(xué)儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室創(chuàng)新基金(MOI201208)
【分類號】：TH741
【正文快照】： 1引言非球面面形精密檢測一直存在技術(shù)難點(diǎn),傳統(tǒng)干涉檢測受分辨率和口徑限制,無法檢測大口徑深度非球面。20世紀(jì)80年代,子孔徑拼接干涉檢測技術(shù)(SSI)[1-2]應(yīng)運(yùn)而生,通過將被測面或波前分割為不同的子孔徑區(qū)域分別檢測,克服了傳統(tǒng)干涉儀的檢測限制。其中,環(huán)形子孔徑拼接干涉檢

【相似文獻(xiàn)】

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