本文關(guān)鍵詞：基于微梁的面內(nèi)高g值加速度計(jì)設(shè)計(jì)

  更多相關(guān)文章： 面內(nèi)加速度計(jì) 微梁 高靈敏度 高量程 MEMS

【摘要】：提出了一種基于微梁的面內(nèi)高g值加速度計(jì)的設(shè)計(jì)方案。根據(jù)材料力學(xué)中懸臂梁的相關(guān)理論,建立了微梁檢測結(jié)構(gòu)的等效模型,推導(dǎo)出了微梁應(yīng)力和中間主梁應(yīng)力的比值的表達(dá)式。通過改變結(jié)構(gòu)的尺寸來調(diào)節(jié)比值,可以設(shè)計(jì)出更高量程和更高靈敏度的壓阻式傳感器。利用ANSYS軟件對微梁和中間主梁的最大應(yīng)力及電阻區(qū)應(yīng)力進(jìn)行了仿真分析,驗(yàn)證了設(shè)計(jì)方案的可行性。完成了一種量程可達(dá)15萬gn的面內(nèi)雙軸高g值傳感器的設(shè)計(jì)。
【作者單位】： 中北大學(xué)儀器科學(xué)與動態(tài)測試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)電子測試技術(shù)國防科技重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器與電子學(xué)院;
【基金】：“十二五”總裝備部預(yù)研項(xiàng)目
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 近二三十年來,壓阻式傳感器在國內(nèi)外有很大的發(fā)展,被廣泛的應(yīng)用在軍事工程、宇航工程、石化工業(yè)等領(lǐng)域的靜態(tài)與動態(tài)的測試系統(tǒng)中[1-3]。隨著三軸傳感器在軍事上各種彈丸侵徹硬目標(biāo)以及大當(dāng)量沖擊波場爆炸威力過程中的應(yīng)用越來越受到全世界范圍內(nèi)的重視,它對于戰(zhàn)略武器的發(fā)展具

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：1160461