本文關(guān)鍵詞：用于大口徑平面鏡檢測(cè)的五棱鏡掃描檢測(cè)系統(tǒng)裝調(diào)技術(shù)研究

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【摘要】：五棱鏡掃描檢測(cè)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、檢測(cè)周期短等優(yōu)點(diǎn),可實(shí)現(xiàn)低階像差的高精度檢測(cè),是指導(dǎo)大口徑、超大口徑平面鏡光學(xué)加工的有效途徑�；诠饩�矢量追跡理論,建立五棱鏡掃描檢測(cè)系統(tǒng)數(shù)學(xué)模型,并采用最小二乘法推導(dǎo)出系統(tǒng)測(cè)量精度與系統(tǒng)主要光學(xué)元件角度變化量之間的解析表達(dá)式。在此基礎(chǔ)上,分析了系統(tǒng)測(cè)量精度對(duì)元件裝調(diào)精度的靈敏度,給出了系統(tǒng)精確裝調(diào)的實(shí)施方案,并進(jìn)行了系統(tǒng)裝調(diào)試驗(yàn),探索出適合大口徑平面鏡檢測(cè)的五棱鏡掃描檢測(cè)系統(tǒng)裝調(diào)流程。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,由裝調(diào)過(guò)程引起的系統(tǒng)測(cè)量誤差可控制在40 nrad以內(nèi)。通過(guò)理論分析和裝調(diào)試驗(yàn),驗(yàn)證了使用五棱鏡掃描檢測(cè)技術(shù)進(jìn)行大口徑平面檢測(cè)的可行性。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院大學(xué);中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國(guó)科學(xué)院光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(61210015)
【分類號(hào)】：TH743
【正文快照】： 1引言隨著望遠(yuǎn)技術(shù)的發(fā)展,大口徑、超大口徑的望遠(yuǎn)系統(tǒng)也越來(lái)越多,規(guī)劃中的歐洲極大望遠(yuǎn)鏡(E-ELT)、30 m望遠(yuǎn)鏡(TMT)等未來(lái)巨型望遠(yuǎn)鏡主鏡的口徑都超過(guò)了30 m,E-ELT的主鏡直徑達(dá)42 m,其中的平面折返鏡的口徑1.3 m;TMT主鏡口徑達(dá)到30 m,其三鏡是一個(gè)2.5 m×3.5 m超大口徑橢圓形

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本文編號(hào)：1158727