本文關(guān)鍵詞：基于LabVIEW的單頻激光測量系統(tǒng)誤差補(bǔ)償技術(shù)的研究

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【摘要】：現(xiàn)如今,激光干涉測量技術(shù)發(fā)展得已經(jīng)很成熟。在位移測量方面,要想在光學(xué)上提高干涉儀分辨率及精度難度較大。而隨著硬技術(shù)和軟件技術(shù)的升級,使得高分辨力、高精度的激光干涉儀得以發(fā)展。具體來說,就是利用硬件電路或軟件的方法濾除各種誤差源導(dǎo)致的信號的失真與變形。單頻激光干涉儀的誤差源主要由三部分組成。第一部分是單頻激光測量系統(tǒng)固有誤差,包括量化誤差和非正交誤差以及非線性誤差等；第二部分是由于環(huán)境變化引起的誤差,包括折射率誤差,光學(xué)熱漂移等；第三部分是系統(tǒng)的安裝誤差,包括阿貝誤差、余弦誤差等。在這所有的誤差源中,有三類誤差一直是人們研究的熱點(diǎn)。即由于環(huán)境的改變而引起的空氣折射率的改變而導(dǎo)致的激光波長誤差和由于單頻激光干涉儀中的光電元件存在的參數(shù)誤差和位置誤差、外界環(huán)境因素的影響而導(dǎo)致正交信號的非線性誤差以及測量時的阿貝誤差。為了提高激光干涉測量系統(tǒng)的測量精度,則必須補(bǔ)償或消除這三部分的誤差。為了補(bǔ)償阿貝誤差,在測量長度的同時,對導(dǎo)軌的俯仰角和偏擺角也進(jìn)行了測量。本文根據(jù)前兩類誤差的特點(diǎn),分別建立了這兩類誤差的補(bǔ)償模型。按照數(shù)學(xué)模型,在LabVIEW的環(huán)境下,編制了位移測量軟件,可對位移誤差進(jìn)行實時補(bǔ)償。在位移測量的同時,該軟件也可以進(jìn)行角度測量。最后在實驗室已有的一維導(dǎo)軌和單頻激光干涉系統(tǒng)下,完成了對測量軟件中測長部分的驗證。
【學(xué)位授予單位】：合肥工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TH744.3

【參考文獻(xiàn)】

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本文編號：1157905