本文關(guān)鍵詞：一種3自由度精密微定位平臺的設(shè)計與分析

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【摘要】：高精度的微定位平臺是精密定位技術(shù)研究的重要內(nèi)容之一。采用柔順機構(gòu)作為微定位機構(gòu)及壓電陶瓷作為驅(qū)動器,設(shè)計了一種3自由度精密微定位平臺。首先,對設(shè)計的微定位平臺進行了理論分析,得出了該平臺的理論輸入與輸出關(guān)系,同時確定了其行程范圍。然后,采用ANSYS有限元方法對該平臺在給定輸入情況下的變形進行了分析,并對其輸出位移進行了仿真。分析結(jié)果表明,設(shè)計的3自由度微定位平臺理論分析結(jié)果和仿真分析結(jié)果基本吻合。最后,根據(jù)分析結(jié)果,制作了微定位平臺樣機。這種高精度的微定位平臺在精密定位領(lǐng)域有著廣泛的應用前景。
【作者單位】： 佛山科學技術(shù)學院機械與電氣工程學院;
【基金】：國家自然科學基金資助項目(51105077) 廣東省教育廳科技創(chuàng)新項目(2012KJCX0103)
【分類號】：TH703
【正文快照】： 近年來,隨著微/納制造技術(shù)的迅速發(fā)展和廣泛應用,越來越多的學者對微/納制造裝備核心關(guān)鍵技術(shù)之一的精密定位技術(shù)進行了大量研究。微定位平臺是實現(xiàn)精密定位的工作平臺,一般由微定位機構(gòu)、驅(qū)動器和為控制系統(tǒng)提供位置反饋的位移傳感器組成。柔順機構(gòu)是以柔性鉸鏈代替?zhèn)鹘y(tǒng)機構(gòu)

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