本文關(guān)鍵詞：氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)變厚變曲率反射鏡技術(shù)

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【摘要】：以環(huán)形線負(fù)載驅(qū)動(dòng)模型為基礎(chǔ),分析了環(huán)形線負(fù)載驅(qū)動(dòng)變曲率反射鏡難以兼顧大中心形變與高精度面形保持的原因;從薄板彈性理論出發(fā),得到了一種氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)變厚變曲率反射鏡物理模型.理論分析表明,將反射鏡的厚度分布從等厚改為變厚,并采用氣壓均勻驅(qū)動(dòng)替代推力環(huán)環(huán)形驅(qū)動(dòng),反射鏡不僅能產(chǎn)生大的中心形變,而且在形變過程中的面形精度也遠(yuǎn)高于環(huán)形線負(fù)載驅(qū)動(dòng)變曲率反射鏡的.基于超硬鋁反射鏡樣片的試驗(yàn)驗(yàn)證了對變厚變曲率反射鏡的理論分析;試驗(yàn)中,反射鏡初始面形精度接近λ/50(632.8nm),施加0.032 MPa驅(qū)動(dòng)氣壓產(chǎn)生約22μm中心形變時(shí),反射鏡面形精度依然優(yōu)于λ/20(632.8nm),證明該氣動(dòng)驅(qū)動(dòng)結(jié)合變厚設(shè)計(jì)這一技術(shù)具有較大的應(yīng)用潛力.
【作者單位】： 中國科學(xué)院西安光學(xué)精密機(jī)械研究所空間光學(xué)應(yīng)用研究室;中國科學(xué)院大學(xué);
【基金】：國家自然科學(xué)基金(Nos.61107008,61105017) 國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃 中科院西部青年學(xué)者項(xiàng)目(No.XAB2015A09)資助~~
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1-10022110引言常規(guī)光學(xué)元件受鏡面材料特性和制造工藝的限制,只能提供固定的光焦度,所以根據(jù)幾何光學(xué)原理[1]、傳統(tǒng)變焦技術(shù)(包括光學(xué)補(bǔ)償式變焦與機(jī)械補(bǔ)償式變焦)只能依靠光學(xué)元件或組件之間的相對運(yùn)動(dòng)實(shí)現(xiàn)變焦,對運(yùn)動(dòng)部件的依賴限制了變焦技術(shù)在特定場合的應(yīng)用.近年來,隨著，

本文編號：1153228