本文關(guān)鍵詞：膠層厚度對三點支撐反射鏡面形的影響

  更多相關(guān)文章： 光機系統(tǒng) 反射鏡 三點支撐 表面面形 膠層 有限元模型

【摘要】：以45nm浸沒式光刻物鏡中采用的三點支撐反射鏡為研究對象,建立了膠層連接的三點邊緣支撐結(jié)構(gòu)模型,用以確定膠層厚度對三點支撐反射鏡面形變化的影響。分析了重力作用下三點支撐反射鏡的面形變化情況,通過解析表達式描述了膠層厚度對反射鏡受力變形的影響。建立了"支撐塊-膠層-反射鏡"的有限元計算模型,針對不同膠層厚度對反射鏡的面形變化進行了仿真分析。仿真結(jié)果表明:隨著膠層厚度的增大,反射鏡的面形變化(均方根值RMS)呈現(xiàn)先減小后增大的趨勢;當(dāng)膠層厚度為280μm時,反射鏡面形變化的RMS值最小,約為1.25nm。最后,通過實驗測量了柔性雙腳架三點邊緣支撐導(dǎo)致的反射鏡面形變化。結(jié)果顯示:當(dāng)膠層厚度為200,280,400μm時,反射鏡面形的變化結(jié)果均與仿真結(jié)果一致,驗證了本文仿真結(jié)果的正確性。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點實驗室;
【基金】：國家科技重大專項資助項目(No.2012ZX02701001-007)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1序言結(jié)構(gòu)黏合劑是光機儀器中最廣泛使用的黏合劑之一,主要用于固定機械零件或光學(xué)零件。在光機結(jié)構(gòu)裝配中,黏合劑可以替代螺栓、鉚釘、壓板等機械零件來實現(xiàn)緊固作用。與傳統(tǒng)的機械緊固方式相比,黏結(jié)劑緊固方式具有結(jié)構(gòu)簡單、重量輕、裝配應(yīng)力分布均勻、柔性高等特點。隨著現(xiàn)

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前8條

1 范志剛;常虹;陳守謙;;透鏡無熱裝配中粘結(jié)層的設(shè)計[J];光學(xué)精密工程;2011年11期

2 李福;阮萍;趙葆常;馬小龍;;膠固緊平面反射鏡的有限元分析[J];光學(xué)技術(shù);2006年06期

3 劉強;何欣;張峰;陳思唯;;反射鏡無熱裝配中膠層厚度的計算及控制[J];光學(xué)精密工程;2012年10期

4 董得義;李志來;李銳鋼;樊延超;張學(xué)軍;;膠層固化對反射鏡面形影響的仿真與試驗[J];光學(xué)精密工程;2014年10期

5 張麗敏;王富國;安其昌;楊飛;王志;;Bipod柔性結(jié)構(gòu)在小型反射鏡支撐中的應(yīng)用[J];光學(xué)精密工程;2015年02期

6 張凱;何欣;崔永鵬;;空間相機機身桁架裝配工藝[J];紅外與激光工程;2011年01期

7 李偉杰;李小龍;;溫度交變環(huán)境下防熱結(jié)構(gòu)膠層厚度設(shè)計[J];航天器環(huán)境工程;2013年04期

8 劉強;何欣;張峰;;航天光學(xué)遙感器指向鏡用膠選擇[J];紅外與激光工程;2014年S1期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 韓旭;吳清文;董得義;陳立恒;吳雪峰;;室溫硫化膠層建模在透鏡結(jié)構(gòu)分析中的應(yīng)用[J];光學(xué)精密工程;2010年01期

2 孫向陽;張國玉;段潔;孫高飛;高越;;高精度星模擬器目標(biāo)標(biāo)準(zhǔn)源設(shè)計[J];光學(xué)學(xué)報;2012年05期

3 劉強;何欣;張峰;陳思唯;;反射鏡無熱裝配中膠層厚度的計算及控制[J];光學(xué)精密工程;2012年10期

4 姜洋;孫強;劉英;趙瓏現(xiàn);;大視場紅外導(dǎo)引頭光學(xué)系統(tǒng)消熱差設(shè)計[J];光子學(xué)報;2013年04期

5 楊利偉;李志來;薛棟林;;結(jié)構(gòu)膠固化收縮對反射鏡面形影響的分析與試驗[J];光學(xué)技術(shù);2014年04期

6 吳志會;王東平;周連生;倪明陽;李顯凌;;膠粘劑對光機結(jié)構(gòu)動力學(xué)特性的影響[J];光電工程;2014年06期

7 劉強;何欣;劉曉豐;;光學(xué)反射鏡鑲嵌件表面狀態(tài)對粘接質(zhì)量影響分析[J];硅谷;2014年15期

8 閆勇;姚勁松;張雷;王棟;;精密光學(xué)膠結(jié)件的快速脫膠[J];光學(xué)精密工程;2015年06期

9 李暢;何欣;;基于Rayleigh算法的空間相機桁架結(jié)構(gòu)設(shè)計與優(yōu)化[J];紅外與激光工程;2012年09期

10 羅欣;劉遠(yuǎn);沈意平;周蕾;;支撐力非均勻性對大口徑光學(xué)鏡片面形的影響[J];華中科技大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);2013年08期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 常虹;透射式紅外系統(tǒng)熱光學(xué)穩(wěn)定性關(guān)鍵技術(shù)研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2011年

2 周超;大口徑望遠(yuǎn)鏡系統(tǒng)建模及仿真分析研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機械與物理研究所）;2011年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 �？�;多象限光電探測器性能仿真與測試技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2012年

2 包立明;紅外光學(xué)系統(tǒng)的熱特性分析[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

3 李文博;離軸式激光雷達結(jié)構(gòu)設(shè)計[D];長春理工大學(xué);2012年

4 關(guān)少華;RTV膠在高精度光學(xué)裝配中對面形影響的分析[D];中國科學(xué)院研究生院（光電技術(shù)研究所）;2013年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 呂方;朱光明;胡巧青;劉代軍;;玻璃微珠填充改性聚合物研究進展[J];玻璃鋼/復(fù)合材料;2008年03期

2 楊孚標(biāo);肖加余;曾竟成;邢素麗;王遵;姜楠;;鋁合金磷酸陽極化及膠接性能分析[J];材料工程;2006年02期

3 關(guān)英俊;;膠粘結(jié)固緊調(diào)焦鏡有限元分析[J];光電工程;2010年10期

4 易法軍,梁軍,孟松鶴,杜善義;防熱復(fù)合材料的燒蝕機理與模型研究[J];固體火箭技術(shù);2000年04期

5 武旭華;陳磊;王磊;;φ300mm干涉儀參考鏡的設(shè)計及測試[J];光學(xué)精密工程;2007年08期

6 吳國棟;宋丹;;測繪相機坐標(biāo)系與立方鏡轉(zhuǎn)換矩陣的標(biāo)定[J];光學(xué)精密工程;2007年11期

7 郭疆;何欣;;大口徑空間遙感相機主反射鏡支撐設(shè)計[J];光學(xué)精密工程;2008年09期

8 苗健宇;張立平;吳清文;王向東;韓旭;;測繪相機光學(xué)鏡筒設(shè)計、加工及裝配[J];光學(xué)精密工程;2008年09期

9 李志來;薛棟林;張學(xué)軍;;長焦距大視場光學(xué)系統(tǒng)的光機結(jié)構(gòu)設(shè)計[J];光學(xué)精密工程;2008年12期

10 韓旭;吳清文;董得義;陳立恒;吳雪峰;;室溫硫化膠層建模在透鏡結(jié)構(gòu)分析中的應(yīng)用[J];光學(xué)精密工程;2010年01期

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 李婧;變厚度圓板軸對稱非線性分析[D];天津大學(xué);2004年

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張庚生;唐敏學(xué);陳新華;余建軍;沈為民;;不同載荷作用下膜基反射鏡面形分析和仿真[J];激光與光電子學(xué)進展;2010年11期

2 梁振梅;楊淑清;周必方;邱敏華;魏晉良;;大口徑反射鏡面形狀的測試分析[J];光學(xué)儀器;1993年05期

3 楊飛;安其昌;張景旭;;基于功率譜的反射鏡面形評價[J];中國光學(xué);2014年01期

4 崔天剛;張宏吉;馬文生;陳波;;Wolter Ⅰ型反射鏡面形檢測裝置的改進[J];光學(xué)學(xué)報;2011年04期

5 段學(xué)霆;周仁魁;吳萌源;李英才;王鵬;李華;;中心軸支撐大口徑反射鏡面形裝調(diào)控制方法[J];光子學(xué)報;2011年S1期

6 木崇俊;一種獲得掃描透射電子象的方法[J];云南大學(xué)學(xué)報(自然科學(xué)版);1984年03期

7 李宏壯;張振鐸;王建立;劉欣悅;吳小霞;張麗敏;張斌;王亮;;基于浮動支撐的620mm薄反射鏡面形主動校正[J];光學(xué)學(xué)報;2013年05期

8 彭元靜;袁呂軍;;有限元在大口徑鏡面研制中的應(yīng)用[J];光學(xué)技術(shù);2009年04期

9 TakusoSato,王大春;自適應(yīng)PVDF壓電變形反射鏡系統(tǒng)[J];壓電與聲光;1981年02期

10 董克勤;樊文正;魏印增;;如何清洗大型投影儀的大反射鏡[J];計量技術(shù);1983年01期

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 張庚生;膜基反射鏡面形控制系統(tǒng)設(shè)計、仿真與分析[D];蘇州大學(xué);2010年

2 陸麗娟;均勻載荷作用下膜基反射鏡面形分析和研究[D];蘇州大學(xué);2009年

，

本文編號：1151729