本文關(guān)鍵詞：膠層厚度對(duì)三點(diǎn)支撐反射鏡面形的影響

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【摘要】：以45nm浸沒式光刻物鏡中采用的三點(diǎn)支撐反射鏡為研究對(duì)象,建立了膠層連接的三點(diǎn)邊緣支撐結(jié)構(gòu)模型,用以確定膠層厚度對(duì)三點(diǎn)支撐反射鏡面形變化的影響。分析了重力作用下三點(diǎn)支撐反射鏡的面形變化情況,通過(guò)解析表達(dá)式描述了膠層厚度對(duì)反射鏡受力變形的影響。建立了"支撐塊-膠層-反射鏡"的有限元計(jì)算模型,針對(duì)不同膠層厚度對(duì)反射鏡的面形變化進(jìn)行了仿真分析。仿真結(jié)果表明:隨著膠層厚度的增大,反射鏡的面形變化(均方根值RMS)呈現(xiàn)先減小后增大的趨勢(shì);當(dāng)膠層厚度為280μm時(shí),反射鏡面形變化的RMS值最小,約為1.25nm。最后,通過(guò)實(shí)驗(yàn)測(cè)量了柔性雙腳架三點(diǎn)邊緣支撐導(dǎo)致的反射鏡面形變化。結(jié)果顯示:當(dāng)膠層厚度為200,280,400μm時(shí),反射鏡面形的變化結(jié)果均與仿真結(jié)果一致,驗(yàn)證了本文仿真結(jié)果的正確性。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【基金】：國(guó)家科技重大專項(xiàng)資助項(xiàng)目(No.2012ZX02701001-007)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1序言結(jié)構(gòu)黏合劑是光機(jī)儀器中最廣泛使用的黏合劑之一,主要用于固定機(jī)械零件或光學(xué)零件。在光機(jī)結(jié)構(gòu)裝配中,黏合劑可以替代螺栓、鉚釘、壓板等機(jī)械零件來(lái)實(shí)現(xiàn)緊固作用。與傳統(tǒng)的機(jī)械緊固方式相比,黏結(jié)劑緊固方式具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、重量輕、裝配應(yīng)力分布均勻、柔性高等特點(diǎn)。隨著現(xiàn)

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