本文關(guān)鍵詞：激光外差干涉儀設計與實驗研究

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【摘要】：將現(xiàn)代光學實驗引入本科物理實驗課程中有助于學生了解光學及科技應用的最新發(fā)展狀況。外差干涉方法是精密測量微小位移的重要方法之一。以常用的光學實驗儀器、光學元件和調(diào)整架等設備,給出了一種空間式的激光外差干涉實驗設計方案,并自主搭建實驗裝置,用于大學物理實驗的教學與研究。
【作者單位】： 華中科技大學物理學院物理實驗中心;
【分類號】：TH741.4
【正文快照】： 精密測量主要用于機械制造、材料和器件的結(jié)構(gòu)與性能測試、空間測距等方面[1]。運用光學方法實現(xiàn)精密測量是其中重要的方法之一,常見的有邁克耳孫干涉儀、法-珀干涉儀及激光外差干涉儀。前兩種干涉法均采用正向入射方式,測量精度約為100nm[2]。目前,高精度的激光干涉儀大多為

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本文編號：1149650