本文關鍵詞：用改進的快速傅里葉變換法評估一維標準樣板線節(jié)距數據

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【摘要】：由于利用快速傅里葉變換(FFT)法定量測量標準樣板的平均節(jié)距時會因為頻譜分辨率Δf有限而在數據分析過程中丟失信息,故本文對常用的FFT法進行了改進。首先在FFT的頻譜中得到最大振幅值對應的頻率分量fmax,使用二分法縮小fmax附近的頻率范圍;然后利用連續(xù)傅里葉變換法尋找更大的振幅值與更精確的f′max以求得更接近真實值的線節(jié)距。為了驗證該方法的可行性,利用Matlab軟件仿真被測標準樣板(TGD1)的輪廓圖,比較了FFT與改進后的FFT對不同掃描長度下數據的評估結果,并展示了改進FFT法評估時部分數據的運算過程。同時,通過計量型原子力顯微鏡實測20μm×2μm內的TGD1形貌。兩種評估法下的數據比對結果顯示:改進FFT評估后的線節(jié)距為(277.84±0.39)nm,符合標稱值(278±1)nm,驗證了改進后FFT方法對線節(jié)距求解的準確性與合理性。
【作者單位】： 同濟大學物理科學與工程學院;上海市計量測試技術研究院;
【基金】：上海市科委納米專項基金資助項目(No.11nm0506800)
【分類號】：TH742;TP274.2
【正文快照】： 2.上海市計量測試技術研究院,上海201203)1引言近幾年,隨著微納技術的迅速發(fā)展,人們對精密測量儀器提出了更高的要求,通過測量微納標準樣板進行校準也具有更加重大的意義[1-3]。例如:一維或二維的橫向標準樣板可用于校準各種顯微鏡下觀察到的圖像放大或畸變情況;作為縱向標準

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本文編號：1143922