本文關(guān)鍵詞：用改進(jìn)的快速傅里葉變換法評估一維標(biāo)準(zhǔn)樣板線節(jié)距數(shù)據(jù)

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【摘要】：由于利用快速傅里葉變換(FFT)法定量測量標(biāo)準(zhǔn)樣板的平均節(jié)距時會因為頻譜分辨率Δf有限而在數(shù)據(jù)分析過程中丟失信息,故本文對常用的FFT法進(jìn)行了改進(jìn)。首先在FFT的頻譜中得到最大振幅值對應(yīng)的頻率分量fmax,使用二分法縮小fmax附近的頻率范圍;然后利用連續(xù)傅里葉變換法尋找更大的振幅值與更精確的f′max以求得更接近真實值的線節(jié)距。為了驗證該方法的可行性,利用Matlab軟件仿真被測標(biāo)準(zhǔn)樣板(TGD1)的輪廓圖,比較了FFT與改進(jìn)后的FFT對不同掃描長度下數(shù)據(jù)的評估結(jié)果,并展示了改進(jìn)FFT法評估時部分?jǐn)?shù)據(jù)的運算過程。同時,通過計量型原子力顯微鏡實測20μm×2μm內(nèi)的TGD1形貌。兩種評估法下的數(shù)據(jù)比對結(jié)果顯示:改進(jìn)FFT評估后的線節(jié)距為(277.84±0.39)nm,符合標(biāo)稱值(278±1)nm,驗證了改進(jìn)后FFT方法對線節(jié)距求解的準(zhǔn)確性與合理性。
【作者單位】： 同濟大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院;上海市計量測試技術(shù)研究院;
【基金】：上海市科委納米專項基金資助項目(No.11nm0506800)
【分類號】：TH742;TP274.2
【正文快照】： 2.上海市計量測試技術(shù)研究院,上海201203)1引言近幾年,隨著微納技術(shù)的迅速發(fā)展,人們對精密測量儀器提出了更高的要求,通過測量微納標(biāo)準(zhǔn)樣板進(jìn)行校準(zhǔn)也具有更加重大的意義[1-3]。例如:一維或二維的橫向標(biāo)準(zhǔn)樣板可用于校準(zhǔn)各種顯微鏡下觀察到的圖像放大或畸變情況;作為縱向標(biāo)準(zhǔn)

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本文編號：1143922