發(fā)布時(shí)間：2017-11-05 00:35

  本文關(guān)鍵詞：基于偏振光的集成邁克爾遜干涉儀關(guān)鍵技術(shù)研究

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【摘要】：近年來,隨著科技的不斷發(fā)展,在精密機(jī)械、集成電路生產(chǎn)等許多精密加工工業(yè)領(lǐng)域?qū)y試精度的要求越來越高。因此,研究測試系統(tǒng)中的關(guān)鍵技術(shù)有助于更好地理解精密測量。本文圍繞單頻激光干涉儀關(guān)鍵技術(shù)展開研究,其主要研究內(nèi)容如下：闡述了基于偏振光的集成邁克爾遜干涉儀系統(tǒng)的原理與方法。首先根據(jù)邁克爾遜干涉原理分析了單頻激光干涉儀結(jié)構(gòu)；其次基于瓊斯矩陣?yán)碚?討論了正交偏振激光干涉儀數(shù)學(xué)模型,最后詳細(xì)分析了整個(gè)光路系統(tǒng)的干涉原理。搭建了單頻偏振激光干涉儀系統(tǒng)的光路系統(tǒng)部分和電路系統(tǒng)部分。采用光電探測器BPW34設(shè)計(jì)了光電轉(zhuǎn)換電路,通過對稱布置光電探測器的位置減少直流漂移對測量信號(hào)的影響。介紹了系統(tǒng)中誤差的來源并采用以Heydeman模型為基礎(chǔ)的在線正交信號(hào)誤差校正方法,利用LabVIEW軟件對測量信號(hào)的誤差進(jìn)行修正。測試了系統(tǒng)輸出的干涉信號(hào),通過測試說明本系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)納米分辨率。并且從光路、電路以及外界環(huán)境三個(gè)方面,進(jìn)行了系統(tǒng)誤差分析。
【學(xué)位授予單位】：合肥工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號(hào)】：TH744.3

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本文編號(hào)：1141870