本文關鍵詞：誤差分離技術在平面鏡瑞奇-康芒法檢測中的應用

  更多相關文章： 光學檢測 平面鏡 瑞奇-康芒法 誤差分離 最小二乘法

【摘要】：為了提高瑞奇-康芒法檢測平面鏡面形誤差的精度,提出了利用檢測系統(tǒng)光瞳面與被檢平面鏡表面的坐標映射關系插值擬合平面鏡面形的方法。結合最小二乘法分析,解算了由光路調整引入的離焦誤差,獲得了更為真實的平面鏡面形誤差。理論仿真分析顯示,此方法的平面鏡測量誤差可控制在λ/100(λ=632.8nm)量級。對口徑為40mm的小口徑平面鏡進行了實際檢測,檢測過程中通過多角度旋轉被測平面鏡,利用坐標映射關系和幅值轉換關系對測試波前進行恢復,在分離系統(tǒng)離焦誤差后得到被檢平面鏡面形RMS值為0.018 6λ,與干涉儀直接檢測得到的RMS值0.021λ相比,殘差為0.002 4λ。實驗結果證明了此種誤差分離技術在瑞奇-康芒法對平面鏡面形檢測時的有效性與準確性。
【作者單位】： 中國科學院
【關鍵詞】： 光學檢測 平面鏡 瑞奇-康芒法 誤差分離 最小二乘法
【基金】：國家863高技術研究發(fā)展計劃資助項目(No.2012AA040503) 國家自然科學基金重點項目(No.11034007)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言大口徑平面鏡在空間光學、天文光學等領域有著廣泛的應用。隨著平面鏡口徑的增大,對其面形檢測精度的要求也越來越高。在光學平面鏡面形檢測中,干涉測量法是一種常用的方法。目前,可用于平面檢測的商業(yè)干涉儀的最大口徑為800mm,因此對于口徑超過800mm的平面鏡,干涉儀無

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 曹根瑞,Anderson DS,Parks R E,邵聯(lián)貞;計算機輔助的瑞奇-康芒檢驗[J];北京工業(yè)學院學報;1988年04期

2 田秀云,吳時彬,伍凡,陳強,吳永前;瑞奇-康芒法中的一種數(shù)據(jù)處理方法[J];光電工程;2004年01期

3 馬冬梅;孫軍月;張波;韓昌元;;高精度大口徑平面鏡面形角差法測試探究[J];光學精密工程;2005年S1期

4 王孝坤;王麗輝;張學軍;;子孔徑拼接干涉法檢測非球面[J];光學精密工程;2007年02期

5 李新南;張明意;;大口徑光學平面的子孔徑拼接檢驗研究[J];光學技術;2006年04期

6 袁呂軍;邢娜;;大口徑光學平面瑞奇-康芒檢測技術的研究[J];光學技術;2007年05期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 顏焱;王鑫;;殘差在數(shù)學建模中的應用[J];安徽職業(yè)技術學院學報;2010年02期

2 劉秉琦;孫東平;華文深;駱新新;;基于雙向剪切干涉的CCD像素間距標定[J];半導體光電;2008年05期

3 李迪凡;朱玉琴;李澤華;;多管火箭炮水平臺與基準管軸線一致性光電檢測系統(tǒng)[J];兵工自動化;2012年03期

4 王有仁,周立民,吳一為;精密測量相機畸變測量及數(shù)據(jù)處理[J];兵工學報;1997年01期

5 方之縝;電測指示儀表的讀數(shù)精度[J];北京工業(yè)大學學報;1984年04期

6 曹志清,張雅琴,趙惠清,林培峰;材料力學萬能試驗機研究——拉伸測試機構的改進及誤差分析[J];北京化工大學學報(自然科學版);2000年03期

7 徐永凱,王信義;利用直線度數(shù)據(jù)進行表面三維建模[J];北京理工大學學報;2000年01期

8 高長福,付長纓;科技編輯應了解測量不確定度評定與表示規(guī)范[J];編輯學報;2004年02期

9 孫向陽;段潔;李杰;;移動式太陽模擬器轉動誤差計算及消除方法研究[J];長春大學學報;2009年12期

10 馬宏;;精密軸系的回轉精度[J];長春光學精密機械學院學報;1983年04期

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 劉東;通用數(shù)字化高精度非球面干涉檢測技術與系統(tǒng)研究[D];浙江大學;2010年

2 李智;風電規(guī)律預測及對電網(wǎng)運行影響的研究[D];山東大學;2011年

3 王小鵬;大口徑非球面數(shù)字刀口儀測試技術研究[D];南京理工大學;2010年

4 蔡盛;艦載導彈共架垂直發(fā)射方位瞄準系統(tǒng)研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2010年

5 楊亮;動態(tài)仿真目標的空間位置精度測量[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2011年

6 滿玉春;基于數(shù)字莫爾條紋的非球面檢測技術研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2011年

7 李清軍;新型多媒體視頻判讀技術研究[D];中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;2000年

8 龔蓬;動態(tài)測量誤差修正灰色建模理論與應用技術研究[D];合肥工業(yè)大學;2000年

9 亓四華;制造質量零廢品控制理論與技術的研究[D];合肥工業(yè)大學;2001年

10 王助貧;三軸試驗土樣變形的數(shù)字圖像測量方法及其應用[D];大連理工大學;2002年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 王慶男;高精度插齒刀磨齒機減振與插齒實驗研究[D];大連理工大學;2010年

2 徐炳炎;分布式紅外輻射通量測量系統(tǒng)的研究[D];浙江大學;2011年

3 尹文怡;離散數(shù)據(jù)擬合模型的研究與實現(xiàn)[D];石家莊鐵道學院;2009年

4 石衛(wèi)協(xié);艦載復合增程彈射擊效力分析研究[D];南京理工大學;2011年

5 張尊天;基于虛擬儀器技術的彈丸多參數(shù)檢測系統(tǒng)[D];長春理工大學;2011年

6 王俁;氣象輻射儀檢定用多維自動檢測平臺研究[D];長春理工大學;2011年

7 任彥玲;隨機規(guī)劃問題中的誤差分析[D];華中科技大學;2011年

8 于喚喚;觸針式光電三維微位移測量系統(tǒng)設計[D];天津大學;2012年

9 李生輝;基于STC12C5A16S2單片機的動態(tài)輻射掃描溫度計的研制[D];哈爾濱工業(yè)大學;2011年

10 馬志成;大口徑平面光學元件加工的工藝方法研究[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2010年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 曹根瑞,Anderson DS,Parks R E,邵聯(lián)貞;計算機輔助的瑞奇-康芒檢驗[J];北京工業(yè)學院學報;1988年04期

2 鄢靜舟,雷凡,周必方,高志強;用Zernike多項式進行波面擬合的幾種算法[J];光學精密工程;1999年05期

3 許誼,徐毓嫻,惠梅,蔡昕;微分相襯干涉顯微鏡定量測量表面形貌[J];光學精密工程;2001年03期

4 郭培基,余景池,孫俠菲;一種大數(shù)值孔徑小非球面檢測用補償器設計[J];光學精密工程;2002年05期

5 宋康,趙玉龍,蔣莊德;激光干涉微輪廓測量儀[J];光學精密工程;2003年03期

6 盧振武,劉華,李鳳有;利用曲面計算全息圖進行非球面檢測[J];光學精密工程;2004年06期

7 郭培基;余景池;;用校正法提高補償器檢測法的精度[J];光學精密工程;2006年02期

8 薛棟林;鄭立功;王淑平;張學軍;;離軸二次非球面補償檢驗計算機輔助調整技術研究[J];光學精密工程;2006年03期

9 王孝坤;張學軍;王麗輝;鄭立功;;環(huán)形子孔徑拼接干涉檢測非球面的數(shù)學模型和仿真研究[J];光學精密工程;2006年04期

10 張學軍,張云峰,余景池,張忠玉;FSGJ-1非球面自動加工及在線檢測系統(tǒng)[J];光學精密工程;1997年02期

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 李新南;張明意;;大口徑光學平面的子孔徑拼接檢驗研究[J];光學技術;2006年04期

2 潘君驊;談談光學檢測的指導思想[J];光學與光電技術;2004年06期

3 謝本超,盧振武,李鳳有;近柱面中頻面形檢測中曲面擬合法精度問題研究[J];物理學報;2005年07期

4 王孝坤;鄭立功;;中心遮攔光學元件檢測中調整誤差的精確去除[J];激光與光電子學進展;2010年09期

5 劉龍;孟光;;電子散斑干涉無損檢測技術的應用現(xiàn)狀[J];無損檢測;2006年01期

6 黃柳賓;;基于小波變換的全光纖微位移干涉測量儀[J];科學技術與工程;2007年21期

7 王孝坤;鄭立功;張斌智;閆鋒;張忠玉;張學軍;;子孔徑拼接干涉測量一大口徑雙曲面(英文)[J];紅外與激光工程;2009年01期

8 張宏亮;王勤;;干涉儀及其在光學檢測中的應用[J];科技信息;2007年01期

9 云宇;彭勇;田小強;周文超;;基于子孔徑拼接原理檢測大口徑光學元件[J];強激光與粒子束;2011年07期

10 童德渠;;談談大尺寸平面鏡的雙面精磨[J];光學技術;1977年02期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 陳偉;姚漢民;伍凡;朋漢林;吳時彬;;用于圓形口徑光學元件的功率譜密度檢測[A];2006年全國光電技術學術交流會會議文集（B 光學系統(tǒng)設計與制造技術專題）[C];2006年

2 金學軍;;實用的鏡筒可旋轉潛望鏡[A];中國光學學會2006年學術大會論文摘要集[C];2006年

3 徐建程;許喬;鄧燕;柴立群;;干涉儀系統(tǒng)傳遞函數(shù)的理論分析[A];提高全民科學素質、建設創(chuàng)新型國家——2006中國科協(xié)年會論文集（下冊）[C];2006年

4 張海燕;王建平;張崇巍;劉偉;;交錯分布式多鏡面聚光系統(tǒng)[A];PCC2009—第20屆中國過程控制會議論文集[C];2009年

5 鄧燕;徐建程;石琦凱;柴立群;何祖斌;;不同形狀孔徑波前擬合分析[A];提高全民科學素質、建設創(chuàng)新型國家——2006中國科協(xié)年會論文集（下冊）[C];2006年

6 陳偉;伍凡;;干涉檢測數(shù)據(jù)抗振動影響的方法研究[A];高精度幾何量光電測量與校準技術研討會論文集[C];2008年

7 徐加山;郭航;;微型超聲手術刀的振動檢測技術[A];Proceedings of the 2010 Symposium on Piezoelectricity,Acoustic Waves and Device Applications[C];2010年

8 劉樹民;;國產光學設備平面高效連續(xù)穩(wěn)定生產的條件[A];現(xiàn)代光學制造技術論文集[C];2002年

9 徐鶴順;;用毛氈拋光片和新的裝夾方法加工平面光學零件[A];現(xiàn)代光學制造技術論文集[C];2002年

10 袁呂軍;邢娜;;大口徑光學平面Ritchey-Common檢測技術[A];中國光學學會2006年學術大會論文摘要集[C];2006年

中國重要報紙全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 北京奧博泰科技有限公司 張哲民;鍍膜玻璃在線光學檢測[N];中國建材報;2006年

2 陳琳;韋博太空望遠鏡：比哈勃看得更遠[N];中國礦業(yè)報;2007年

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 岳巾英;復眼衍射望遠鏡系統(tǒng)的性能檢測[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2010年

2 楊慶華;高光譜分辨率時間調制傅氏變換成像光譜技術研究[D];中國科學院研究生院（西安光學精密機械研究所）;2009年

3 陳華;高精度面形檢測中環(huán)境擾動因素分析[D];中國科學院研究生院（長春光學精密機械與物理研究所）;2011年

4 劉曉e，

本文編號：1131882