本文關(guān)鍵詞：原子力顯微鏡矩形測(cè)力臂彈性系數(shù)計(jì)算方法研究

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【摘要】：原子力顯微鏡測(cè)力臂彈性系數(shù)的準(zhǔn)確性直接影響其測(cè)量精度,是儀器標(biāo)定的一個(gè)重要指標(biāo)。分別運(yùn)用理論計(jì)算方法、動(dòng)態(tài)計(jì)算方法和靜態(tài)計(jì)算方法計(jì)算原子力顯微鏡測(cè)力臂彈性系數(shù)。以矩形測(cè)力臂為例,對(duì)其進(jìn)行靈敏度分析,找出影響測(cè)力臂彈性系數(shù)的參數(shù)。分別選取矩形測(cè)力臂原始參數(shù)值及參數(shù)上下極限值,構(gòu)成3組實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)。利用上述3種計(jì)算方法,分別計(jì)算出3組不同參數(shù)值的矩形測(cè)力臂的彈性系數(shù),然后對(duì)這3種計(jì)算方法計(jì)算所得的彈性系數(shù)進(jìn)行分析并和生產(chǎn)商給出的名義值進(jìn)行比較,所得結(jié)果為原子力顯微鏡矩形測(cè)力臂彈性系數(shù)的精確計(jì)算提供參考。
【作者單位】： 西南交通大學(xué)機(jī)械工程研究所;
【關(guān)鍵詞】： 原子力顯微鏡 彈性系數(shù) 靈敏度分析 測(cè)力臂
【基金】：四川省國(guó)際合作計(jì)劃項(xiàng)目(2014HH0022)
【分類號(hào)】：TH742
【正文快照】： 2,^.隨著納米技術(shù)的迅速發(fā)展,人類對(duì)納米世界的探知程度也越來(lái)越深入,因此,作為具有納米、亞納米級(jí)別分辨率的原子力顯微鏡(Atomic Force Microscope,AFM),也逐漸成為人們重要的測(cè)量工具。原子力顯微鏡自1986年問(wèn)世以來(lái),人們對(duì)其在半導(dǎo)體、食品、化工、醫(yī)藥和生物等領(lǐng)域的應(yīng)用

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本文編號(hào)：1130057