本文關(guān)鍵詞：頻率掃描干涉儀漂移誤差正反向掃描補(bǔ)償法

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【摘要】：頻率掃描干涉儀對測量過程中光程差的漂移非常敏感,目標(biāo)鏡的微小位移會被放大幾千倍,使得測量結(jié)果嚴(yán)重失真,因此必須消除或減弱漂移誤差。針對現(xiàn)場測量中目標(biāo)鏡的低頻振動或緩慢漂移,根據(jù)光頻連續(xù)正反向掃描測量值漂移誤差放大項大小近似相等、符號相反的特性,提出了一種光頻連續(xù)正反向快速掃描的漂移誤差補(bǔ)償方法,并進(jìn)行了頻率掃描干涉儀漂移誤差補(bǔ)償實(shí)驗,分析對比補(bǔ)償前后的實(shí)驗結(jié)果,驗證了該方法的可行性。實(shí)驗結(jié)果表明,在測量距離約1543.3mm處,目標(biāo)鏡振動頻率為4.7Hz,振幅為1μm,采用補(bǔ)償后,連續(xù)40次采樣測量的標(biāo)準(zhǔn)差由補(bǔ)償前的51.9μm下降到8μm。
【作者單位】： 西安交通大學(xué)機(jī)械制造系統(tǒng)工程國家重點(diǎn)實(shí)驗室;
【關(guān)鍵詞】： 測量 頻率掃描干涉儀 漂移誤差
【基金】：國家自然科學(xué)基金(50975225、50935006) 制造過程測試技術(shù)省部共建教育部重點(diǎn)實(shí)驗室開放課題(10zxzk05)
【分類號】：TH744.3
【正文快照】： 1引言可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器的頻率掃描干涉測距技術(shù)(FSI)精度高、體積小、價格適中,已應(yīng)用于大型強(qiáng)子對撞器超環(huán)面探測器(ATLAS)的裝配精度檢測[1-4]和多衛(wèi)星編隊飛行時相對距離的測量[5]等領(lǐng)域。而FSI對光頻掃描過程中目標(biāo)鏡的振動漂移非常敏感。掃描測量時目標(biāo)鏡的振動漂移產(chǎn)

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