本文關(guān)鍵詞：基于Levenberg-Marquardt算法的大型非球面鏡輪廓數(shù)據(jù)處理方法

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【摘要】：大型非球面鏡通過加工-檢測(cè)-再加工-再檢測(cè)的制造工藝以滿足面形精度要求,根據(jù)檢測(cè)后的輪廓數(shù)據(jù)準(zhǔn)確評(píng)定面形是提高再加工精度的關(guān)鍵。為解決拋光前鏡面的面形評(píng)定問題,采用基于信賴域法則的Levenberg-Marquardt算法對(duì)參數(shù)進(jìn)行擬合、誤差補(bǔ)償以及面形評(píng)定。利用Code V仿真分析算法性能,構(gòu)建大型非球面輪廓儀測(cè)試拋物面加工件,對(duì)實(shí)測(cè)數(shù)據(jù)經(jīng)過32次迭代得到元件參數(shù)及輪廓?dú)埐钋�,收斂精度為1.16×10-21。實(shí)驗(yàn)表明:該算法可對(duì)大型非球面鏡輪廓數(shù)據(jù)進(jìn)行高效準(zhǔn)確的擬合、評(píng)定,為進(jìn)一步提高再加工精度提供可靠依據(jù)。
【作者單位】： 北京理工大學(xué)光電學(xué)院精密光電測(cè)試儀器及技術(shù)北京市重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 大型非球面鏡 Levenberg-Marquardt 誤差補(bǔ)償 非線性擬合 輪廓數(shù)據(jù)評(píng)定
【基金】：民用航天“十二五”預(yù)研項(xiàng)目資助課題
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 引言非球面光學(xué)元件具有擴(kuò)大視場(chǎng)、矯正像差、改善像質(zhì)以及有效簡(jiǎn)化光學(xué)系統(tǒng)等特點(diǎn)[1],在天文、航空、航天、國(guó)防等重要領(lǐng)域起著重要作用。隨著光學(xué)精密加工檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展,大口徑高精度非球面鏡的加工、制造、檢測(cè)成為可能,為其在天文光學(xué)、深空探測(cè)、軍事偵察、慣性約束核聚

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