本文關鍵詞：基于Levenberg-Marquardt算法的大型非球面鏡輪廓數(shù)據(jù)處理方法

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【摘要】：大型非球面鏡通過加工-檢測-再加工-再檢測的制造工藝以滿足面形精度要求,根據(jù)檢測后的輪廓數(shù)據(jù)準確評定面形是提高再加工精度的關鍵。為解決拋光前鏡面的面形評定問題,采用基于信賴域法則的Levenberg-Marquardt算法對參數(shù)進行擬合、誤差補償以及面形評定。利用Code V仿真分析算法性能,構建大型非球面輪廓儀測試拋物面加工件,對實測數(shù)據(jù)經(jīng)過32次迭代得到元件參數(shù)及輪廓殘差曲線,收斂精度為1.16×10-21。實驗表明:該算法可對大型非球面鏡輪廓數(shù)據(jù)進行高效準確的擬合、評定,為進一步提高再加工精度提供可靠依據(jù)。
【作者單位】： 北京理工大學光電學院精密光電測試儀器及技術北京市重點實驗室;
【關鍵詞】： 大型非球面鏡 Levenberg-Marquardt 誤差補償 非線性擬合 輪廓數(shù)據(jù)評定
【基金】：民用航天“十二五”預研項目資助課題
【分類號】：TH74
【正文快照】： 引言非球面光學元件具有擴大視場、矯正像差、改善像質(zhì)以及有效簡化光學系統(tǒng)等特點[1],在天文、航空、航天、國防等重要領域起著重要作用。隨著光學精密加工檢測技術的發(fā)展,大口徑高精度非球面鏡的加工、制造、檢測成為可能,為其在天文光學、深空探測、軍事偵察、慣性約束核聚

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