本文關(guān)鍵詞：氙氣質(zhì)量流量校準(zhǔn)裝置

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【摘要】：為了開展多工況條件下的氙氣質(zhì)量流量精確校準(zhǔn),研制了氙氣質(zhì)量流量校準(zhǔn)裝置。本文介紹了校準(zhǔn)裝置的組成、校準(zhǔn)原理,測試了極限真空度、漏放氣率,進(jìn)行了真空容器容積在線測量、校準(zhǔn)過程中氙氣溫度變化及物態(tài)變化等研究,對校準(zhǔn)結(jié)果進(jìn)行了驗證。該裝置校準(zhǔn)范圍為(3×10~(-1)~2.6×10~3)m L/min(標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)),相對合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為1.6%。
【作者單位】： 無錫鴻瑞航天科技有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 計量 質(zhì)量流量 校準(zhǔn)裝置 氙氣
【分類號】：TH814.6
【正文快照】： 熱式氣體質(zhì)量流量計在航空、航天、能源、醫(yī)學(xué)等行業(yè)廣泛應(yīng)用。在對測量準(zhǔn)確度要求較高的尖端技術(shù)領(lǐng)域,當(dāng)實際被測氣體與出廠校準(zhǔn)氣體不同時,必須采用實際被測氣體來校準(zhǔn)質(zhì)量流量[1]。在某產(chǎn)品的研制過程中,氙氣質(zhì)量流量的測量直接關(guān)系到了產(chǎn)品的質(zhì)量和壽命,需要精確測量氙氣

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本文編號：1113906