本文關(guān)鍵詞：大口徑拋物面鏡子孔徑拼接測量

  更多相關(guān)文章： 大口徑拋物面 子孔徑拼接 面形檢測 目標(biāo)函數(shù)法

【摘要】：針對大口徑拋物面面形檢測,提出一種基于無像差點(diǎn)的子孔徑拼接測量新方法。首先,分析了該拼接方案特殊的子孔徑生成方式及子孔徑名義運(yùn)動(dòng)路徑計(jì)算的形式;其次,通過建立統(tǒng)一的像面坐標(biāo)系和全局坐標(biāo)系的函數(shù)關(guān)系,結(jié)合坐標(biāo)轉(zhuǎn)換求解出各個(gè)子孔徑數(shù)據(jù)對應(yīng)的全局坐標(biāo);最后,采用目標(biāo)函數(shù)法拼接恢復(fù)出全口徑面形。對一拋物面鏡利用該拼接方案進(jìn)行了計(jì)算機(jī)仿真實(shí)驗(yàn),拼接得到RMS值的偏差為0.001 4λ。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,該檢測方法可以實(shí)現(xiàn)大口徑拋物面鏡的高精度測量。
【作者單位】： 西安工業(yè)大學(xué)陜西省薄膜技術(shù)與光學(xué)檢測重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 大口徑拋物面 子孔徑拼接 面形檢測 目標(biāo)函數(shù)法
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51075322) 陜西省教育廳高精度小平面干涉儀研制基金(12JS048)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言隨著科學(xué)技術(shù)的不斷發(fā)展,大口徑非球面光學(xué)元件廣泛的應(yīng)用于天文光學(xué)、空間光學(xué)、慣性約束核聚變等高技術(shù)領(lǐng)域。制造高精度、大口徑的非球面需要與之相應(yīng)的高精度檢測設(shè)備和方法。子孔徑拼接干涉檢測方法[1]主要是通過使用標(biāo)準(zhǔn)的小口徑干涉儀對大口徑光學(xué)元件表面進(jìn)行多

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：1109632