本文關(guān)鍵詞：光學(xué)表面中高頻誤差的仿真分析

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【摘要】：在光學(xué)設(shè)計(jì)和裝調(diào)過程中,常常需要隨時(shí)根據(jù)面形質(zhì)量來預(yù)估光學(xué)系統(tǒng)的性能,傳統(tǒng)的方法都是借助澤尼克多項(xiàng)式擬合光學(xué)表面面形來進(jìn)行仿真評價(jià)。但非球面光學(xué)元件在加工過程中常常產(chǎn)生中高頻誤差,這類誤差會引入小角度的散射,進(jìn)而影響光學(xué)系統(tǒng)像質(zhì)評價(jià)。提供了一種"點(diǎn)對應(yīng)點(diǎn)"的仿真方法,通過準(zhǔn)確評價(jià)面形質(zhì)量獲得高精度的像質(zhì)預(yù)估結(jié)果,解決了傳統(tǒng)的澤尼克多項(xiàng)式不能描述中高頻成分的關(guān)鍵問題。該方法在實(shí)際光學(xué)系統(tǒng)中進(jìn)行了驗(yàn)證,仿真結(jié)果和實(shí)測數(shù)據(jù)吻合度優(yōu)于90%。
【作者單位】： 北京空間機(jī)電研究所;
【關(guān)鍵詞】： 表面面形 中高頻誤差 澤尼克多項(xiàng)式 仿真
【基金】：國家重大科技專項(xiàng)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言光學(xué)系統(tǒng)中的光學(xué)元件在加工或者外載荷作用下,表面面形常常發(fā)生變化,所有這些變化都引起光學(xué)系統(tǒng)的波前畸變,從而影響光學(xué)系統(tǒng)的性能。因此,在進(jìn)行光學(xué)設(shè)計(jì)和光學(xué)裝調(diào)的過程中,常常需要隨時(shí)評價(jià)面形對于光學(xué)系統(tǒng)的性能(通常為RMS或者M(jìn)TF)的影響。近些年來,工程中都借助

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：1109371