本文關(guān)鍵詞：壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的遲滯特性

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【摘要】：針對(duì)壓電陶瓷固有的遲滯現(xiàn)象對(duì)其定位控制精度的影響,對(duì)遲滯進(jìn)行了特征分析和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證。基于微觀極化機(jī)理和機(jī)電耦合效應(yīng)分析了遲滯的成因,分別對(duì)不同驅(qū)動(dòng)行程,全行程不同位置和不同起始電壓下的遲滯特性進(jìn)行了對(duì)比實(shí)驗(yàn)。結(jié)果表明:對(duì)10V行程的驅(qū)動(dòng),隨著電壓區(qū)間的遞增,平均位移輸出先增大后減小,平均遲滯誤差從0.419 3μm減小到0.158 9μm;對(duì)100V行程的驅(qū)動(dòng),隨著起始電壓的增大,平均位移輸出從42.882 5μm減小到25.92μm,平均遲滯誤差從3.999 3μm減小到1.692 3μm;起始電壓每增加15V,位移輸出減小5.654 2μm,遲滯誤差減小0.769μm。實(shí)驗(yàn)結(jié)果反映了電疇翻轉(zhuǎn)狀況對(duì)驅(qū)動(dòng)過程機(jī)電耦合效率的影響,有效驗(yàn)證了電疇翻轉(zhuǎn)理論。實(shí)驗(yàn)也表明:針對(duì)電疇翻轉(zhuǎn)不同階段所表現(xiàn)的的遲滯特征對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器的遲滯誤差進(jìn)行補(bǔ)償,可修正或減小遲滯誤差帶來的影響,為提高系統(tǒng)定位控制精度提供科學(xué)的參考依據(jù)。
【作者單位】： 華僑大學(xué)機(jī)電及自動(dòng)化學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器 遲滯 電疇翻轉(zhuǎn) 遲滯特性曲線 定位控制
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.51475176) 2013年福建省自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(No.2013J05077) 中央高�；究蒲袠I(yè)務(wù)費(fèi)專項(xiàng)資金資助項(xiàng)目(No.11J0234)
【分類號(hào)】：TH703
【正文快照】： 1引言微位移技術(shù)是精密機(jī)械與精密儀器的關(guān)鍵技術(shù)之一。微位移機(jī)構(gòu)由驅(qū)動(dòng)裝置和導(dǎo)向裝置組成,其中驅(qū)動(dòng)裝置多采用壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)器。壓電陶瓷能夠?qū)C(jī)械能和電能相互轉(zhuǎn)換,具有機(jī)電耦合效率高、位移分辨率高、響應(yīng)速度快、穩(wěn)定性好、無噪聲等優(yōu)點(diǎn),是一種理想的驅(qū)動(dòng)器,在微機(jī)械、

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1 王曉慧;孫濤;;快速伺服刀架遲滯特性的Preisach建模(英文)[J];光學(xué)精密工程;2009年06期

2 ;[J];;年期

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本文編號(hào)：1107806