發(fā)布時間：2017-10-27 13:35

  本文關鍵詞：主光軸平行于基底的微透鏡陣列設計與制作

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【摘要】：用聚二甲基硅氧烷(PDMS)軟光刻工藝實現(xiàn)了一種主光軸平行于基底的微透鏡陣列。首先對微透鏡形成過程中的PDMS薄膜受力和變形情況進行了分析,并采用有限元分析方法對不同壓力、不同厚度的薄膜變形情況進行了模擬,確定了合理的微透鏡腔體結構;然后利用SU-8負模制作了PDMS微透鏡腔體,將腔體與蓋片進行了密閉封裝,通過一定的壓力向其注入紫外固化光學膠成型了微透鏡陣列;最后使用自制裝置對微透鏡陣列的聚焦效果進行了測試。結果表明,提出的制作方法簡單易行、成本低廉和焦距可控,而且易與其它的微系統(tǒng)集成到同一芯片。
【作者單位】： 中北大學儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室 電子測試技術教育部重點實驗室;山西大學商務學院信息學院;
【關鍵詞】： 微透鏡陣列 薄膜形變 有限元分析 芯片鍵合 聚焦測試
【基金】：國家自然科學基金(61176115) 山西大學商務學院科研(2013006)資助項目
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言由一系列直徑在10~100μm之間的微型透鏡按一定方式排列而成的微透鏡陣列,主要用于實現(xiàn)光束的發(fā)射、聚焦、偏折、分割、復合、開關、耦合和接收等功能[1],在圖像傳感器、OLED耦合效率的增強、光學掃描、波前測量、光學器件互連和三維測量等微光學系統(tǒng)中得到廣泛的應用。

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本文編號：1103734