本文關鍵詞：利用三坐標測量儀拼接檢測大口徑非球面面形

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【摘要】：為了利用三坐標測量儀實現(xiàn)對大口徑非球面面形的檢測,提出了大口徑非球面面形三坐標拼接測試方法。對該方法的基本原理與具體的實現(xiàn)流程進行了分析和研究,并基于初級像差理論和最小二乘擬合建立了三坐標拼接檢驗大口徑非球面綜合優(yōu)化數(shù)學模型。結(jié)合實例,對一口徑為1 200 mm×434 mm的長條形SiC離軸非球面反射鏡進行了兩個子孔徑的三坐標拼接檢測,并將拼接測試結(jié)果與非球面全口徑輪廓檢測結(jié)果進行了比對,其PV值和RMS值的偏差分別僅為0.073μm和0.042μm;兩種方法面形殘差的PV值和RMS值分別為0.325μm和0.055μm。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所中國科學院光學系統(tǒng)先進制造技術重點實驗室;
【關鍵詞】： 面形檢測 大口徑非球面 三坐標測量儀 子孔徑拼接測試
【基金】：國家863計劃(O8663NJ090) 國家973計劃(2011CB0132005) 國家自然科學基金重點項目(61036015)
【分類號】：TH721
【正文快照】： 0引言在光學系統(tǒng)中使用非球面可以很好地平衡像差,提升成像質(zhì)量,此外能夠利用較少的光學元件滿足光學系統(tǒng)指標要求,從而使光機結(jié)構趨于緊湊和簡便,因此非球面被用于空間遙感、光電跟蹤儀器、光刻設備、高性能照相(攝像)機等諸多光電儀器[1-5]。尤其在空間光學領域,由于非球面

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本文編號：1098107