本文關(guān)鍵詞：利用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x拼接檢測(cè)大口徑非球面面形

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【摘要】：為了利用三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x實(shí)現(xiàn)對(duì)大口徑非球面面形的檢測(cè),提出了大口徑非球面面形三坐標(biāo)拼接測(cè)試方法。對(duì)該方法的基本原理與具體的實(shí)現(xiàn)流程進(jìn)行了分析和研究,并基于初級(jí)像差理論和最小二乘擬合建立了三坐標(biāo)拼接檢驗(yàn)大口徑非球面綜合優(yōu)化數(shù)學(xué)模型。結(jié)合實(shí)例,對(duì)一口徑為1 200 mm×434 mm的長(zhǎng)條形SiC離軸非球面反射鏡進(jìn)行了兩個(gè)子孔徑的三坐標(biāo)拼接檢測(cè),并將拼接測(cè)試結(jié)果與非球面全口徑輪廓檢測(cè)結(jié)果進(jìn)行了比對(duì),其PV值和RMS值的偏差分別僅為0.073μm和0.042μm;兩種方法面形殘差的PV值和RMS值分別為0.325μm和0.055μm。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所中國(guó)科學(xué)院光學(xué)系統(tǒng)先進(jìn)制造技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 面形檢測(cè) 大口徑非球面 三坐標(biāo)測(cè)量?jī)x 子孔徑拼接測(cè)試
【基金】：國(guó)家863計(jì)劃(O8663NJ090) 國(guó)家973計(jì)劃(2011CB0132005) 國(guó)家自然科學(xué)基金重點(diǎn)項(xiàng)目(61036015)
【分類號(hào)】：TH721
【正文快照】： 0引言在光學(xué)系統(tǒng)中使用非球面可以很好地平衡像差,提升成像質(zhì)量,此外能夠利用較少的光學(xué)元件滿足光學(xué)系統(tǒng)指標(biāo)要求,從而使光機(jī)結(jié)構(gòu)趨于緊湊和簡(jiǎn)便,因此非球面被用于空間遙感、光電跟蹤儀器、光刻設(shè)備、高性能照相(攝像)機(jī)等諸多光電儀器[1-5]。尤其在空間光學(xué)領(lǐng)域,由于非球面

【參考文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1098107